[发明专利]一种铝掺氧化锌透明导电薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及半导体光电材料，具体涉及一种铝掺氧化锌导电薄膜的制备方法，包括以下步骤以三氧化铝掺杂的氧化锌陶瓷作为靶材，调节本底真空度为0.5～2×10‑4pa、衬底温度为80～120℃，以氩为溅射源、工作压强为0.4～0.8Pa，靶基距为5～7cm，采用梯度溅射功率喷溅1h，得到铝掺氧化锌导电薄膜。该方法具有工艺步骤简单、易操作的优点，制备的铝掺氧化锌透明导电薄膜，致密度高、附着力强、紫外可见光范围达到400～900nm，光透过率高达90～98％、电阻率可低至1.2×10‑4欧姆·厘米。

主权项

一种铝掺氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：以三氧化铝掺杂的氧化锌陶瓷作为靶材，调节本底真空度为0.5×10‑4或2×10‑4Pa、衬底温度为80～120℃，以氩为溅射源、工作压强为0.4～0.8Pa，靶基距为5～7cm，采用梯度溅射功率喷溅1h，得到铝掺氧化锌导电薄膜；所述的三氧化铝掺杂氧化锌陶瓷中，三氧化二铝和氧化锌的重量分数比为5：100；3:90及1:99；所述的三氧化铝掺杂的氧化锌陶瓷的制备方法，包括以下步骤：分别称取三氧化二铝和氧化锌后，均匀混合，经压片烧结后制得；所述烧结温度为1250～1340℃；所述梯度溅射功率包括以下步骤：溅射初期5分钟内溅射功率为50～70W、5～10分钟75～90W、而后功率提高到95～120W；所述的铝掺氧化锌透明导电薄膜，紫外可见光范围为400～900nm，光透过率为90～98％、电阻率为1.2×10‑4～2.5×10‑4欧姆·厘米。