[发明专利]一种铝掺氧化锌透明导电薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种铝掺氧化锌透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：以三氧化铝掺杂的氧化锌陶瓷作为靶材，调节本底真空度为0.5×10^-4或2×10^-4Pa、衬底温度为80～120℃，以氩为溅射源、工作压强为0.4～0.8Pa，靶基距为5～7cm，采用梯度溅射功率喷溅1h，得到铝掺氧化锌导电薄膜；

所述的三氧化铝掺杂氧化锌陶瓷中，三氧化二铝和氧化锌的重量分数比为5：100；3:90及1:99；

所述的三氧化铝掺杂的氧化锌陶瓷的制备方法，包括以下步骤：分别称取三氧化二铝和氧化锌后，均匀混合，经压片烧结后制得；

所述烧结温度为1250～1340℃；

所述梯度溅射功率包括以下步骤：溅射初期5分钟内溅射功率为50～70W、5～10分钟75～90W、而后功率提高到95～120W；

所述的铝掺氧化锌透明导电薄膜，紫外可见光范围为400～900nm，光透过率为90～98％、电阻率为1.2×10^-4～2.5×10^-4欧姆·厘米。