[发明专利]元件压接装置

摘要

本发明的目的在于提供一种能够进行与元件的排列间距对应的自由度高的元件的一并压接且能够提高作业效率的元件压接装置。通过下承受部(13)的透明构件(13b)支承基板(2)的下表面的区域中的多个电极(2d)的下方的区域，在通过多个压接用具(32T)向下表面由下承受部(13)支承的基板(2)按压元件(3)时，通过透明构件(13b)从基板(2)的下表面侧向粘结构件(4)照射光(15L)。多个压接用具(32T)沿其排列方向移动自如，透明构件(13b)具有能够覆盖多个压接用具(32T)的排列方向的可移动范围的整个区域的尺寸，由此形成光照射部(15)能够向透明构件(13b)的整个区域照射光(15L)的结构。

主权项

1.一种元件压接装置，将元件向基板按压而与所述基板接合，所述元件经由光固化型的粘结构件而预先安装于在由透明材料构成的所述基板的缘部排列设置的多个电极的各个电极，所述元件压接装置的特征在于，具备：基板保持部，保持所述基板；下承受部，通过透明构件支承由所述基板保持部保持的所述基板的下表面的区域中的所述多个电极的下方的区域；多个压接用具，排列配置在所述透明构件的上方，向下表面由所述下承受部支承的所述基板按压所述元件；及光照射部，在通过所述压接用具向所述基板按压所述元件时，通过所述透明构件从所述基板的下表面侧向所述粘结构件照射光，所述多个压接用具沿其排列方向移动自如，并且所述透明构件具有能够覆盖所述多个压接用具的所述排列方向的可移动范围的整个区域的尺寸，所述光照射部向所述透明构件的整个区域照射光，在所述下承受部的基体部的上部设有贯通的光通路，所述透明构件以堵塞光通路的方式设置在所述基体部的上表面，所述光照射部经由所述光通路直接透过所述透明构件而到达所述粘结构件。