[发明专利]光波导芯片耦合测试夹具有效
申请号: | 201510431914.8 | 申请日: | 2015-07-22 |
公开(公告)号: | CN105067223A | 公开(公告)日: | 2015-11-18 |
发明(设计)人: | 董瑛;刘渝进 | 申请(专利权)人: | 清华大学深圳研究生院 |
主分类号: | G01M11/00 | 分类号: | G01M11/00 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人: | 王震宇 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种光波导芯片耦合测试夹具,包括承片台和用于支撑所述承片台的支撑结构,所述承片台上设置有芯片夹具,所述芯片夹具包括多个芯片固定调节旋钮和连接在所述芯片固定调节旋钮每一者上的芯片固定夹,多个所述芯片固定夹布置成将待固定芯片包围在中心区域的形式,且通过各个芯片固定调节旋钮能够调节所述芯片固定夹对芯片的固定位置和固定角度。本发明可用于光纤与光波导进行端面耦合时光波导芯片的夹持、固定以及芯片固定角度的调节,适用于多种形状和大小的光波导芯片,具有结构简单新颖、芯片夹持稳定牢靠、芯片姿态调节灵活、所持芯片易于拆装更换、操作简单方便、适用范围较广等优点。 | ||
搜索关键词: | 波导 芯片 耦合 测试 夹具 | ||
【主权项】:
一种光波导芯片耦合测试夹具,其特征在于,包括承片台和用于支撑所述承片台的支撑结构,所述承片台上设置有芯片夹具,所述芯片夹具包括多个芯片固定调节旋钮和连接在所述芯片固定调节旋钮每一者上的芯片固定夹,多个所述芯片固定夹布置成将待固定芯片包围在中心区域的形式,且通过各个芯片固定调节旋钮能够调节所述芯片固定夹对芯片的固定位置和固定角度。
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