[发明专利]一种铟纳米颗粒阵列修饰的石墨烯/硒化锌纳米带肖特基结蓝光光电开关及其制备方法有效
申请号: | 201510418427.8 | 申请日: | 2015-07-14 |
公开(公告)号: | CN105118887B | 公开(公告)日: | 2016-11-30 |
发明(设计)人: | 罗林保;王元;郑坤;卢瑞;于永强 | 申请(专利权)人: | 合肥工业大学 |
主分类号: | H01L31/108 | 分类号: | H01L31/108;H01L31/18;H03K17/945 |
代理公司: | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人: | 何梅生 |
地址: | 230009 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明公开了一种铟纳米颗粒阵列修饰的石墨烯/硒化锌纳米带肖特基结蓝光光电开关及其制备方法,其是在绝缘衬底上表面分布有硒化锌纳米带,硒化锌纳米带的一端设置有与硒化锌纳米带呈欧姆接触的金电极,另一端设置有与硒化锌纳米带呈肖特基接触的石墨烯薄膜,在石墨烯薄膜的上表面修饰有呈六角点阵排布的铟纳米颗粒阵列。本发明中的蓝光光电开关通过利用排列规则的铟纳米颗粒阵列表面等离子体共振的特性,增强了对光的吸收,提高了对光的响应度;本发明制备方法简单,适合大规模生产,可制备响应速度快、抗电磁干扰强的蓝光光电开关,为硒化锌纳米材料在光电开关的应用中开拓了新的前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 纳米 颗粒 阵列 修饰 石墨 硒化锌 带肖特基结蓝光 光电开关 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种铟纳米颗粒阵列修饰的石墨烯/硒化锌纳米带肖特基结蓝光光电开关,其特征在于:在绝缘衬底(1)上表面分布有硒化锌纳米带(2),所述硒化锌纳米带(2)的一端设置有与所述硒化锌纳米带(2)呈欧姆接触的金电极(3),所述硒化锌纳米带(2)的另一端设置有与所述硒化锌纳米带(2)呈肖特基接触的石墨烯薄膜(4),在所述石墨烯薄膜(4)的上表面修饰有呈六角点阵排布的铟纳米颗粒阵列(5),在所述石墨烯薄膜(3)的一侧引出有与石墨烯薄膜呈欧姆接触的引出电极(6)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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