[发明专利]一种制备氧化锌纳米网状结构的方法在审
| 申请号： | 201510404194.6 | 申请日： | 2015-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN104928753A | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 张风燕;黄瑄;陈文志 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | C30B7/14 | 分类号： | C30B7/14;C30B29/16;C30B29/64;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭 |
| 地址： | 361000 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种制备氧化锌纳米网状结构的方法，包括如下步骤：(1)清洗衬底(2)溅射沉积籽晶层；(3)配制溶液：将锌盐、铵盐、胺类化合物、去离子水按一定比例混合制成反应溶液；(4)反应沉积：将盛有反应溶液的反应容器置于恒温油浴容器的油浴介质中，加热反应溶液至90～99℃之间，将步骤(2)制得的物料浸泡在上述反应溶液中，直至氧化锌纳米网状结构层达到所需的厚度；(5)后续处理：将沉积氧化锌产物的衬底取下，置于去离子水中超声波清洗或冲洗，然后吹干或烘干。本发明的方法采用磁控溅射的氧化锌薄膜作为纳米材料生长的基础物质，容易移植到其它材料表面进行生长，而且在衬底上仅发生单面镀膜，改善了镀膜衬底的美观度，提高了产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 氧化锌 纳米 网状结构 方法 | ||
【主权项】：
一种制备氧化锌纳米网状结构的方法，其特征在于：包括如下步骤：(1)清洗衬底(2)溅射沉积籽晶层：使用氧化锌靶材在上述衬底上形成50～60nm的氧化锌籽晶层，具体参数为：通入12～14sccm流量的氩气，溅射RF功率为73～76W，溅射时间为12～15min；(3)配制溶液：将锌盐、铵盐、胺类化合物和去离子水按一定比例混合制成反应溶液，然后兑入反应容器中，该反应溶液中锌盐产生的Zn2+浓度为1～2mmol/mL，铵盐浓度为0.07～0.09mmol/mL，胺类化合物的浓度为1～2mmol/mL；(4)反应沉积：将盛有反应溶液的反应容器置于恒温油浴容器的油浴介质中，加热反应溶液至90～99℃之间，将步骤(2)制得的物料浸泡在上述反应溶液中，直至氧化锌纳米网状结构层达到所需的厚度，反应结束，总的反应时间为30～70min；(5)后续处理：将沉积氧化锌产物的衬底取下，置于去离子水中超声波清洗或冲洗，然后吹干或烘干。
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