[发明专利]一种制备氧化锌纳米网状结构的方法

权利要求书

1.一种制备氧化锌纳米网状结构的方法，其特征在于：包括如下步骤：

(1)清洗衬底

(2)溅射沉积籽晶层：使用氧化锌靶材在上述衬底上形成50～60nm的氧化锌籽晶层，具体参数为：通入12～14sccm流量的氩气，溅射RF功率为73～76W，溅射时间为12～15min；

(3)配制溶液：将锌盐、铵盐、胺类化合物和去离子水按一定比例混合制成反应溶液，然后兑入反应容器中，该反应溶液中锌盐产生的Zn²⁺浓度为1～2mmol/mL，铵盐浓度为0.07～0.09mmol/mL，胺类化合物的浓度为1～2mmol/mL；

(4)反应沉积：将盛有反应溶液的反应容器置于恒温油浴容器的油浴介质中，加热反应溶液至90～99℃之间，将步骤(2)制得的物料浸泡在上述反应溶液中，直至氧化锌纳米网状结构层达到所需的厚度，反应结束，总的反应时间为30～70min；

(5)后续处理：将沉积氧化锌产物的衬底取下，置于去离子水中超声波清洗或冲洗，然后吹干或烘干。

2.如权利要求1所述的一种制备氧化锌纳米网状结构的方法，其特征在于：所述步骤(1)为：将衬底清洗干净，然后吹干或烘干。

3.如权利要求1所述的一种制备氧化锌纳米网状结构的方法，其特征在于：所述步骤(2)为：使用氧化锌靶材在上述衬底上形成50nm的氧化锌籽晶层，具体参数为：通入12sccm流量的氩气，溅射RF功率为75W，溅射时间为14min。

4.如权利要求1所述的一种制备氧化锌纳米网状结构的方法，其特征在于：所述锌盐为六水合硝酸锌。

5.如权利要求1所述的一种制备氧化锌纳米网状结构的方法，其特征在于：所述铵盐为柠檬酸铵。

6.如权利要求1所述的一种制备氧化锌纳米网状结构的方法，其特征在于：所述胺类化合物为六次甲基四胺。

7.如权利要求1所述的一种制备氧化锌纳米网状结构的方法，其特征在于：所述步骤(4)为：将油浴介质、反应容器和反应溶液事先分别加热至反应温度90～99℃之间，然后再将反应溶液注入反应容器中，在恒温水浴环境中进行反应沉积，直至氧化锌纳米网状结构层达到所需的厚度，反应结束，总的反应时间为30～70min。

8.如权利要求1至7中任一权利要求所述的一种制备氧化锌纳米网状结构的方法，其特征在于：所述步骤(4)的反应时间为30～60min。

9.如权利要求1至7中任一权利要求所述的一种制备氧化锌纳米网状结构的方法，其特征在于：在步骤(4)中，加热反应溶液的同时用磁力搅拌使反应物分布均匀，直至反应结束。

10.如权利要求1至7中任一权利要求所述的一种制备氧化锌纳米网状结构的方法，其特征在于：所述油浴介质为硅油。