[发明专利]一种氧化锆薄膜电阻转变特性检测装置及其检测方法在审
| 申请号： | 201510401733.0 | 申请日： | 2015-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN105137216A | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 李颖;赵高扬 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01Q60/24 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 710048*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氧化锆薄膜电阻转变特性检测装置，包括数字源表，数字源表的负极与原子力显微镜的载物台连接，原子力显微镜的导电探针与数字源表的正极连接。本发明还公开了利用上述装置进行氧化锆薄膜电阻转变特性检测的方法。本发明将原子力显微镜与数字源表结合使用，实现了对施加电流、电压后的氧化锆薄膜表面形貌进行即时观察；在检测过程中通过在ZrO2薄膜表面镀Pt金属层，可以有效地降低导电探针与ZrO2格点接触时形成的接触电阻。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锆 薄膜 电阻 转变 特性 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种氧化锆薄膜电阻转变特性检测装置，其特征在于，包括数字源表(1)，数字源表(1)的负极与原子力显微镜(2)的载物台(3)连接，原子力显微镜(2)的导电探针(4)与数字源表(1)的正极连接。
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