[发明专利]一种氧化锆薄膜电阻转变特性检测装置及其检测方法在审
| 申请号： | 201510401733.0 | 申请日： | 2015-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN105137216A | 公开（公告）日： | 2015-12-09 |
| 发明（设计）人： | 李颖;赵高扬 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01Q60/24 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 710048*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锆 薄膜 电阻 转变 特性 检测 装置 及其 方法 | ||
1.一种氧化锆薄膜电阻转变特性检测装置，其特征在于，包括数字源表(1)，数字源表(1)的负极与原子力显微镜(2)的载物台(3)连接，原子力显微镜(2)的导电探针(4)与数字源表(1)的正极连接。
2.根据权利要求1所述的一种氧化锆薄膜电阻转变特性检测装置，其特征在于，所述数字源表(1)为Keiythley2400型数字源表。
3.根据权利要求1所述的一种氧化锆薄膜电阻转变特性检测装置，其特征在于，所述导电探针(4)为ppp-cont型导电探针。
4.一种氧化锆薄膜电阻转变特性检测的方法，其特征在于，采用一种氧化锆薄膜电阻转变特性检测装置，其结构为：包括数字源表(1)，数字源表(1)的负极与原子力显微镜(2)的载物台(3)连接，原子力显微镜(2)的导电探针(4)与数字源表(1)的正极连接；具体按以下步骤进行：
步骤1：在待测氧化锆薄膜的表面镀Pt金属层；
步骤2：打开原子力显微镜(2)开关，将步骤1所得氧化锆薄膜置于载物台(3)上，用银胶将氧化锆薄膜与导电探针(4)导通，随后打开数字源表(1)的电源开关；
步骤3：调节数字源表(1)输出的电压和电流，对待测样品氧化锆薄膜进行电阻转变特性的检测。
5.根据权利要求4所述的一种氧化锆薄膜电阻转变特性检测的方法，其特征在于，所述数字源表(1)为Keiythley2400型数字源表。
6.根据权利要求4所述的一种氧化锆薄膜电阻转变特性检测的方法，其特征在于，所述导电探针(4)为ppp-cont型导电探针。
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