[发明专利]一种侧立安装式双工件台装置有效
| 申请号: | 201510395251.9 | 申请日: | 2015-07-07 |
| 公开(公告)号: | CN104950595B | 公开(公告)日: | 2017-05-24 |
| 发明(设计)人: | 项宗齐 | 申请(专利权)人: | 合肥芯硕半导体有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙)11390 | 代理人: | 胡剑辉 |
| 地址: | 230000 安徽省合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | 一种侧立安装式双工件台装置,其括一基座,所述基座包括一底座与两侧边,所述两侧边分别设有相互平行的水平导轨,所述两水平导轨上分别设置有第一滑动工作台组件、第二滑动工作台组件,所述两滑动工作台组件沿各自所在水平导轨方向上具有相同的水平滑动行程;所述第一滑动工作台组件包括一第一工作台,所述第二滑动工作台组件包括一第二工作台,所述第一工作台与第二工作台之间具有一平行间距,所述两工作台可分别平行移动至对方所在的平面。本发明的两个工作台通过水平导轨、竖直导轨交换各自位置,在不同位置完成不同的工序,并通过交换位置完成工序的交换,实现了PCB板曝光与装卸的同时进行,增加了曝光效率。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 安装 双工 装置 | ||
【主权项】:
一种侧立安装式双工件台装置,其特征在于,包括一基座,所述基座包括一底座与两侧边,所述两侧边分别设置有一水平导轨,所述两侧边上设置的水平导轨相互平行,所述两水平导轨上分别设置有第一滑动工件台组件、第二滑动工件台组件,所述第一滑动工件台组件、第二滑动工件台组件沿各自所在水平导轨方向上具有相同的水平滑动行程,所述两工件台组件分别在两水平导轨上独立滑动;所述第一滑动工件台组件包括一第一工件台,所述第二滑动工件台组件包括一第二工件台,所述第一工件台与第二工件台用于固定工件,所述第一工件台、第二工件台分别与所述底座平行,所述第一工件台与第二工件台之间具有一平行间距,所述两工件台可分别平行移动至对方所在的平面;所述第一滑动工件台组件包括一第一水平滑座,第二滑动工件台组件包括一第二水平滑座,所述第一水平滑座与第二水平滑座分别与两水平导轨连接,所述两水平滑座上分别设有与底座垂直的竖直导轨,所述竖直导轨上设有竖直滑座,所述竖直滑座上连接有支撑架,所述第一工件台、第二工件台分别设于两支撑架上。
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