[发明专利]一种侧立安装式双工件台装置有效
| 申请号: | 201510395251.9 | 申请日: | 2015-07-07 |
| 公开(公告)号: | CN104950595B | 公开(公告)日: | 2017-05-24 |
| 发明(设计)人: | 项宗齐 | 申请(专利权)人: | 合肥芯硕半导体有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙)11390 | 代理人: | 胡剑辉 |
| 地址: | 230000 安徽省合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 安装 双工 装置 | ||
1.一种侧立安装式双工件台装置,其特征在于,包括一基座,所述基座包括一底座与两侧边,所述两侧边分别设置有一水平导轨,所述两侧边上设置的水平导轨相互平行,所述两水平导轨上分别设置有第一滑动工件台组件、第二滑动工件台组件,所述第一滑动工件台组件、第二滑动工件台组件沿各自所在水平导轨方向上具有相同的水平滑动行程,所述两工件台组件分别在两水平导轨上独立滑动;
所述第一滑动工件台组件包括一第一工件台,所述第二滑动工件台组件包括一第二工件台,所述第一工件台与第二工件台用于固定工件,所述第一工件台、第二工件台分别与所述底座平行,所述第一工件台与第二工件台之间具有一平行间距,所述两工件台可分别平行移动至对方所在的平面;
所述第一滑动工件台组件包括一第一水平滑座,第二滑动工件台组件包括一第二水平滑座,所述第一水平滑座与第二水平滑座分别与两水平导轨连接,所述两水平滑座上分别设有与底座垂直的竖直导轨,所述竖直导轨上设有竖直滑座,所述竖直滑座上连接有支撑架,所述第一工件台、第二工件台分别设于两支撑架上。
2.如权利要求1所示的侧立安装式双工件台装置,其特征在于,所述第一工件台、第二工件台分别设有工作吸盘。
3.如权利要求2所述的侧立安装式双工件台装置,其特征在于,所述第一滑动工件台组件、第二滑动工件台组件分别位于水平滑动行程的第一端点、第二端点;所述第一滑动工件台位于第一端点时,所述第二滑动工件台位于第二端点,所述第一工件台位于所述第二工件台上端,所述第一工件台所在区域为PCB装卸区域,所述第二工件台所在区域为PCB曝光区域;所述第一工件台与第二工件台可通过水平位移与竖直位移完成位置互换。
4.如权利要求3所述的侧立安装式双工件台装置,其特征在于,所述两侧边内侧分别开有条形安装槽,所述两水平导轨分别设于所述条形安装槽内。
5.如权利要求3所述的侧立安装式双工件台装置,其特征在于,所述第一滑动工件台组件与第二滑动工件台组件分别具有水平驱动装置、竖直驱动装置,所述水平驱动装置用于驱动滑动工件台组件在水平导轨上移动,所述竖直驱动装置用于驱动两工件台平行移动至对方所在的平面。
6.如权利要求3所述的侧立安装式双工件台装置的工作方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1:分别将第一滑动工件台组件与第二滑动工件台组件在各自水平导轨上移动至第一端点与第二端点;本工件台装置具有一上端面与下端面,所述上端面位于所述下端面上方,将所述第一工件台移动至上端面,将第二工件台移动至下端面;
S2:将一待曝光PCB板放置在所述第一工件台上,将所述第一工件台与第二工件台所在平面位置调换,并将所述第一滑动工件台组件滑动至所述第二端点,将所述第二滑动工件台组件滑动至所述第一端点;
S3:开启曝光装置对所述第一工件台上的PCB板进行曝光,同时在所述第二工件台上放置PCB板;
S4:曝光结束后,调换所述第一工件台与第二工件台所在平面,同时分别将第一滑动工件台组件、第二滑动工件台组件在各自水平导轨上移动至第一端点、第二端点;
S5:将所述第一工件台上的PCB板取下并放置另一未曝光的PCB板,同时开启曝光装置对第二工件台上的PCB板曝光;
S6:曝光结束后,调换所述第一工件台与第二工件台所在平面,同时分别将第一滑动工件台组件、第二滑动工件台组件在各自水平导轨上移动至第二端点、第一端点;
S7:将所述第二工件台上的PCB板取下并放置另一未曝光的PCB板,同时开启曝光装置对第一工件台上的PCB板曝光;
S8:继续执行步骤S4至S7直至完成所有PCB板的曝光处理。
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