[发明专利]一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器有效
| 申请号： | 201510388715.3 | 申请日： | 2015-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN105129719B | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 杨晋玲;吕兴东;魏伟伟;张金英;杨富华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | B81B5/00 | 分类号： | B81B5/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明描述了一种基于洛伦兹力执行的双向串联MEMS执行执行器，其由两个可动的弹性结构串联而成，可以在电流和磁场的作用下，利用洛伦兹力实现结构的双向运动。执行器只需很小的驱动电流，就能实现很大的位移。通过控制电流的方向，两个结构既可以实现相向运动，相互合并；也可以实现反向运动，相互分离。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 洛伦兹力 双向 串联 mems 执行 | ||
【主权项】：
一种基于洛伦兹力的双向串联MEMS执行器，其是在磁场中利用电流产生的洛伦兹力实现双向弹性结构同时运动，其特征在于：所述MEMS执行器由两个并列的可动的弹性结构串联而成，电流分别从弹性结构的两个端口流进和流出，在两个弹性结构上通过的电流方向相反，所述的两个弹性结构的形状为直梁结构或折叠梁结构；使用的材料是硅或者金属。
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