[发明专利]一种二极管腐蚀清洗工艺在审
| 申请号： | 201510384665.1 | 申请日： | 2015-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN105070750A | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 徐柏林;江玉华;翁平;李小娟 | 申请（专利权）人： | 南通康比电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/66 | 分类号： | H01L29/66;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316 | 代理人： | 滑春生 |
| 地址： | 226500 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种二极管腐蚀清洗工艺，所述清洗工艺依次为腐蚀、钝化、钝化杂质清洗、热水冲洗浸泡以及超声清洗,其中腐蚀为通过化学腐蚀方式去除芯片侧面因切割而产生的损伤层,钝化为通过化学反应方式钝化芯片侧面，使芯片侧面形成钝化保护层，钝化表面杂质清洗为通过化学反应方式去有机杂质，金属离子，颗粒沾污。本发明的优点在于：在超声清洗工序之前，添加热水冲水浸泡工艺，使得吸附在芯片钝化层表面的有机杂质、金属离子以及颗粒沾污物质因热量因素加速溶解，提升后续超声清洗效果，从而降低因芯片表面沾污而导致的产品漏电流，提升产品的良率及可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二极管 腐蚀 清洗 工艺 | ||
【主权项】：
一种二极管腐蚀清洗工艺，其特征在于：所述清洗工艺依次为腐蚀、钝化、钝化杂质清洗、热水冲洗浸泡以及超声清洗,其中腐蚀为通过化学腐蚀方式去除芯片侧面因切割而产生的损伤层,钝化为通过化学反应方式钝化芯片侧面，使芯片侧面形成钝化保护层，钝化表面杂质清洗为通过化学反应方式去有机杂质，金属离子，颗粒沾污；热水冲水浸泡工艺使得吸附在芯片钝化层表面的有机杂质、金属离子以及颗粒沾污物质因热量因素加速溶解，超声清洗工位为利用超声空化原理，对钝化表面杂质进行二次清洗。
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