[发明专利]直写式曝光系统中的扫描台有效
| 申请号： | 201510383235.8 | 申请日： | 2015-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN104977815B | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 王友车;张国龙;吴斌 | 申请（专利权）人： | 苏州微影激光技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市合道英联专利事务所(普通合伙)44309 | 代理人： | 廉红果 |
| 地址： | 215636 江苏省苏州市张*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种直写式曝光系统中的扫描台，包括水平设置的矩形台面板，所述台面板上方设置有两根相互平行且平行于台面板的压板横梁，两压板横梁均横跨台面板，所述台面板的侧面设置有与压板横梁的各个端部相对应的安装座，该安装座与台面板相对固定，各个安装座上分别设置有一个升降驱动装置，所述压板横梁的两端分别与对应安装座上的升降驱动装置相连接，同一压板横梁两端的升降驱动装置同步驱动该压板横梁上下移动。在传统的扫描台台面板上增加了两根压板横梁，利用两根压板横梁或安装在压板横梁上的压板将软性曝光板有翘曲现象的边压住，这样在曝光软性曝光板的时候，就可以避免因软性曝光板的边翘曲引起的曝光质量不好的问题了。 | ||
| 搜索关键词： | 直写式 曝光 系统 中的 扫描 | ||
【主权项】：
直写式曝光系统中的扫描台，包括水平设置的矩形台面板(1)，其特征在于，所述台面板(1)上方设置有两根相互平行且平行于台面板(1)的压板横梁(2)，两压板横梁(2)均横跨台面板(1)，所述台面板(1)的侧面设置有与压板横梁(2)的各个端部相对应的安装座(3)，该安装座(3)与台面板(1)相对固定，各个安装座(3)上分别设置有一个升降驱动装置(4)，所述压板横梁(2)的两端分别与对应安装座(3)上的升降驱动装置(4)相连接，同一压板横梁(2)两端的升降驱动装置(4)同步驱动该压板横梁(2)上下移动；所述升降驱动装置(4)与滑动台(6)之间设置有一块连接板(8)，所述压板横梁(2)上与连接板(8)相对的位置设置有一竖向通孔(9)，连接板(8)上竖向固定连接有一根穿过通孔(9)的导杆(10)，导杆(10)上套设有预压缩的弹簧(11)，弹簧(11)的一端与压板横梁(2)底部相抵，另一端与连接板(8)上端面相抵。
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