[发明专利]直写式曝光系统中的扫描台

权利要求书

1.直写式曝光系统中的扫描台，包括水平设置的矩形台面板(1)，其特征在于，所述台面板(1)上方设置有两根相互平行且平行于台面板(1)的压板横梁(2)，两压板横梁(2)均横跨台面板(1)，所述台面板(1)的侧面设置有与压板横梁(2)的各个端部相对应的安装座(3)，该安装座(3)与台面板(1)相对固定，各个安装座(3)上分别设置有一个升降驱动装置(4)，所述压板横梁(2)的两端分别与对应安装座(3)上的升降驱动装置(4)相连接，同一压板横梁(2)两端的升降驱动装置(4)同步驱动该压板横梁(2)上下移动；所述升降驱动装置(4)与滑动台(6)之间设置有一块连接板(8)，所述压板横梁(2)上与连接板(8)相对的位置设置有一竖向通孔(9)，连接板(8)上竖向固定连接有一根穿过通孔(9)的导杆(10)，导杆(10)上套设有预压缩的弹簧(11)，弹簧(11)的一端与压板横梁(2)底部相抵，另一端与连接板(8)上端面相抵。

2.根据权利要求1所述的直写式曝光系统中的扫描台，其特征在于，所述压板横梁(2)垂直于与其两端对应的台面板(1)侧面，四个所述安装座(3)分别固定设置于台面板(1)与两压板横梁(2)相互垂直的两侧侧面，每个安装座(3)上均设置有能驱动升降驱动装置(4)沿该安装座(3)所在侧面横向移动的电动执行机构(5)，该电动执行机构(5)包括一个可沿电动执行机构(5)的驱动方向滑动的滑动台(6)，所述升降驱动装置(4)固定连接在滑动台(6)上。

3.根据权利要求2所述的直写式曝光系统中的扫描台，其特征在于，所述通孔(9)内设置有一个内径与导杆(10)直径相配合的直线轴承(12)，所述导杆(10)穿设在直线轴承(12)内。

4.根据权利要求3所述的直写式曝光系统中的扫描台，其特征在于，所述压板横梁(2)上设置有沿压板横梁(2)长度方向布置的橡胶压板(13)，橡胶压板(13)的下沿低于压板横梁(2)的下沿且平行于台面板(1)的上表面。

5.根据权利要求4所述的直写式曝光系统中的扫描台，其特征在于，所述升降驱动装置(4)是带导杆气缸。