[发明专利]一种多晶硅制绒刻蚀废液的处理方法在审
| 申请号： | 201510379906.3 | 申请日： | 2015-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN104986771A | 公开（公告）日： | 2015-10-21 |
| 发明（设计）人： | 蒋新;朱信俊;施利君;柳小平 | 申请（专利权）人： | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/10 | 分类号： | C01B33/10;C01B9/08;C01F5/38;C01F11/36 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 项丽;仇波 |
| 地址： | 215555 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多晶硅制绒刻蚀废液的处理方法，它包括以下步骤：（a）在搅拌条件下，向废液中加入碱金属化合物反应至不再产生沉淀，过滤得第一沉淀和第一滤液；（b）在搅拌条件下，向所述第一滤液中加入碱土金属化合物反应至不再产生沉淀，过滤得第二沉淀和第二滤液；（c）对所述第二滤液进行浓缩结晶得硝酸盐固体。本发明多晶硅制绒刻蚀废液的处理方法，通过向废液中加入碱金属化合物反应至不再产生沉淀，过滤后向滤液中加入碱土金属化合物再过滤，最后浓缩，这样能够将废液中的氟硅酸根离子、氟离子除去，并得到氟硅酸盐、氟化盐及硝酸盐固体，既能够保护环境，又能够产生新的经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 硅制绒 刻蚀 废液 处理 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅制绒刻蚀废液的处理方法，其特征在于，它包括以下步骤：（a）在搅拌条件下，向刻蚀废液中加入碱金属化合物反应至不再产生沉淀，过滤得第一沉淀和第一滤液；（b）在搅拌条件下，向所述第一滤液中加入碱土金属化合物反应至不再产生沉淀，过滤得第二沉淀和第二滤液；（c）对所述第二滤液进行浓缩结晶得硝酸盐固体。
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