[发明专利]一种多晶硅制绒刻蚀废液的处理方法在审
| 申请号： | 201510379906.3 | 申请日： | 2015-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN104986771A | 公开（公告）日： | 2015-10-21 |
| 发明（设计）人： | 蒋新;朱信俊;施利君;柳小平 | 申请（专利权）人： | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/10 | 分类号： | C01B33/10;C01B9/08;C01F5/38;C01F11/36 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 项丽;仇波 |
| 地址： | 215555 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 硅制绒 刻蚀 废液 处理 方法 | ||
1.一种多晶硅制绒刻蚀废液的处理方法，其特征在于，它包括以下步骤：
（a）在搅拌条件下，向刻蚀废液中加入碱金属化合物反应至不再产生沉淀，过滤得第一沉淀和第一滤液；
（b）在搅拌条件下，向所述第一滤液中加入碱土金属化合物反应至不再产生沉淀，过滤得第二沉淀和第二滤液；
（c）对所述第二滤液进行浓缩结晶得硝酸盐固体。
2.根据权利要求1所述多晶硅制绒刻蚀废液的处理方法，其特征在于：步骤（a）中，所述制绒刻蚀废液与所述碱金属化合物的反应温度为0~40℃，所述制绒刻蚀废液中氟硅酸根离子与所述碱金属化合物中金属元素的摩尔比为1：1~4。
3.根据权利要求1或2所述多晶硅制绒刻蚀废液的处理方法，其特征在于：步骤（b）中，所述第一滤液与所述碱土金属化合物的反应温度为0~40℃，所述第一滤液中氟离子与硝酸根离子之和与所述碱土金属化合物中金属元素的摩尔比1.5~4：1。
4.根据权利要求3所述多晶硅制绒刻蚀废液的处理方法，其特征在于：所述碱金属化合物为碳酸钠、硝酸钠、氢氧化钠、氧化钠、溴化钠、碘化钠、甲酸钠、乙酸钠、碳酸钾、硝酸钾、氢氧化钾、氧化钾、溴化钾、碘化钾、甲酸钾、乙酸钾中的一种或几种组成的混合物；所述碱土金属化合物为氢氧化钙、氧化钙、碳酸钙、氯化钙、溴化钙、氢氧化镁、氧化镁、碳酸镁、氯化镁、溴化镁、氢氧化钡、氧化钡、碳酸钡、氯化钡、溴化钡中的一种或几种组成的混合物。
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