[发明专利]一种纳米压印技术过程中的脱模方法在审
| 申请号： | 201510378214.7 | 申请日： | 2015-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN105319838A | 公开（公告）日： | 2016-02-10 |
| 发明（设计）人： | 王清;马立俊;刘华伟;张睿;张金涛;郑旭 | 申请（专利权）人： | 山东科技大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266590 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种纳米压印技术过程中的脱模方法，先将纳米压印胶材料涂覆于衬底上，形成压印胶层；然后将模板压入压印胶层；待压印胶层固化定型后，在模板上部利用超声波发射装置向模板发射超声波，以辅助模板和压印成型的胶层分离，移去模板，完成脱模过程。本发明与现有技术相比解决了纳米压印技术脱模过程中由于模板和胶层的黏聚力而导致的已成型纳米压印结构严重变形、撕裂和脱模力过大等问题，使压印后的图案传递与光刻完全一致，并有效地降低了脱模力，大大的提高了脱模的成功率，使大规模的产业化生产成为可能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 压印 技术 过程 中的 脱模 方法 | ||
【主权项】：
一种纳米压印技术过程中的脱模方法，其特征在于：先将纳米压印胶材料涂覆于衬底上，形成压印胶层；然后将模板压入压印胶层；待压印胶层固化定型后，在模板上部利用超声波发射装置向模板发射超声波，以辅助模板和压印成型的胶层分离，移去模板，完成脱模过程。
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