[发明专利]一种纳米压印技术过程中的脱模方法在审
| 申请号： | 201510378214.7 | 申请日： | 2015-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN105319838A | 公开（公告）日： | 2016-02-10 |
| 发明（设计）人： | 王清;马立俊;刘华伟;张睿;张金涛;郑旭 | 申请（专利权）人： | 山东科技大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266590 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 压印 技术 过程 中的 脱模 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种纳米压印技术过程中的脱模方法，其特征在于：先将纳米压印胶材料涂覆于衬底上，形成压印胶层；然后将模板压入压印胶层；待压印胶层固化定型后，在模板上部利用超声波发射装置向模板发射超声波，以辅助模板和压印成型的胶层分离，移去模板，完成脱模过程。
2.根据权利要求1所述纳米压印技术过程中的脱模方法，其特征在于：所述模板上部超声波发生装置所发射的超声波作用于整个脱模过程。
3.根据权利要求1所述纳米压印技术过程中的脱模方法，其特征在于：所述模板是由硅、二氧化硅、氧化硅、金属等硬质材料中的一种制成的刚性模板。
4.根据权利要求3所述纳米压印技术过程中的脱模方法，其特征在于：所述刚性模板的纳米结构图案表面涂有一层高分子抗黏层。
5.根据权利要求1所述纳米压印技术过程中的脱模方法，其特征在于：所述纳米压印胶材料为紫外光固化纳米压印胶、甲基丙烯酸甲酯中的一种。
6.根据权利要求1所述纳米压印技术过程中的脱模方法，其特征在于：所述的纳米压印技术包括采用热压印或者紫外光固化压印等以刚性模板和衬底为组合的纳米压印技术。
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