[发明专利]带电粒子透镜中的集成光学件和气体输送在审
| 申请号： | 201510365464.7 | 申请日： | 2015-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN105321787A | 公开（公告）日： | 2016-02-10 |
| 发明（设计）人： | N.W.帕克;M.斯特劳;J.菲列维奇;A.P.J.麦克洛波特曼;M.W.乌特劳特;S.兰多尔夫;C.D.钱德勒 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/12 | 分类号： | H01J37/12;H01J37/147;H01J37/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王岳;张懿 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 带电粒子透镜中的集成光学件和气体输送。一种用于将光或气体或两者指引到离带电粒子束柱的下端约2mm内安置的样品的方法和装置。该带电粒子束柱组件包括定义样品保持位置的平台，并且具有每个包括一组电极的一组静电透镜。该组件包括最后静电透镜，其包括最接近于样品保持位置的最后电极。此最后电极定义至少一个内部通路，其具有接近于且指向样品保持位置的终点。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 透镜 中的 集成 光学 气体 输送 | ||
【主权项】：
一种带电粒子束柱组件，包括：平台，限定样品保持位置；一组静电透镜，每个包括一组电极，并且包括最后静电透镜，其包括最接近于样品保持位置的最后电极；以及其中，所述最后电极限定至少一个内部通路，其具有接近于且指向样品保持位置的终点。
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