[发明专利]带电粒子透镜中的集成光学件和气体输送

权利要求书

1.一种带电粒子束柱组件，包括：

平台，限定样品保持位置；

一组静电透镜，每个包括一组电极，并且包括最后静电透镜，其包括最接近于样品保持位置的最后电极；以及

其中，所述最后电极限定至少一个内部通路，其具有接近于且指向样品保持位置的终点。

2.权利要求1的组件，其中，所述至少一个内部通路包括光通路和容纳光检测器的附加终点。

3.权利要求1的组件，其中，所述至少一个内部通路包括第一光通路，并且其中，所述最后电极除所述第一光通路之外还限定第二光通路。

4.权利要求3的组件，其中，所述第一光通路在光源中终止且所述第二光通路在光检测器中终止。

5.权利要求1的组件，其中，所述至少一个内部通路是气体通路和光通路两者，并且包括与气体源和光源两者连通的终点。

6.权利要求1—5中的任一项的组件，其中，所述最后电极由金属制成，并且其中，所述至少一个内部通路采取金属中的管状空隙空间的形式。

7.权利要求6的组件，其中，金属包括钛合金。

8.权利要求6的组件，其中，空隙空间的表面被抛光以增加反射。

9.权利要求1—5中的任一项的组件，其中，光管延伸通过所述至少一个内部通路。

10.权利要求1—5中的任一项的组件，其中，所述至少一个内部通路包括气体通路，并且包括连接到气体源的附加终点。

11.权利要求10的组件，其中，所述至少一个内部通路包括第一气体通路，并且其中，所述最后电极除所述第一气体通路之外还定义第二气体通路。

12.权利要求11的组件，其中，所述第一气体通路在气体源中终止且所述第二气体通路在气体检测器中终止。

13.权利要求11的组件，其中所述第一气体通路在第一气体源中终止且所述第二气体通路在第二气体源中终止。

14.一种将光指引到如此接近于板电极使得在板电极下面不存在到可行光源位置的倾斜通路的预定样品位置的方法，包括：

提供通过板电极至预定样品位置的光路径；以及

向光路径中发射光。

15.权利要求14的方法，其中，向预定样品位置提供附加光路径，并且其中，该方法还包括通过附加光路径从样品接收光。

16.权利要求14或权利要求15的方法，其中，所述光路径是具有抛光表面的内部空隙，并且其中，所述光随着其行进到所述样品而从所述抛光表面反射。

17.权利要求14或权利要求15的方法，其中，最后电极由钛合金制成。

18.权利要求14或权利要求15的方法，其中，提供至少一个附加光路径，并且其中，向所述至少一个附加光路径中发射光。

19.一种将气体指引到如此接近于板电极使得在板电极下面不存在到可行光源位置的倾斜通路的预定样品位置的方法，包括：

提供通过板电极至预定样品位置的气体通路；以及

向气体通路中发射气体。

20.权利要求19的方法，其中，气体通路是第一气体通路，并且其中，气体是第一气体，并且此外其中，通过板电极提供到预定样品位置的第二气体通路，并且使第二气体通过第二气体通路。