[发明专利]具有子像素结构的空间光调制器缺陷分类方法有效
申请号: | 201510364464.5 | 申请日: | 2015-06-26 |
公开(公告)号: | CN104977154B | 公开(公告)日: | 2017-10-24 |
发明(设计)人: | 戴琼海;范静涛;杜远超 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)11201 | 代理人: | 张大威 |
地址: | 100084 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种具有子像素结构的空间光调制器缺陷分类方法及装置,该方法包括对空间光调制器进行背光补偿,其中,空间光调制器位于暗室中;采集多个先验为无坏点的空间光调制器的多种颜色图像,并计算每种颜色图像的颜色强度均值,以训练分类器,计算发光单元的标准颜色强度向量;采集待检测空间光调制器的多种颜色图像,利用分类器和标准颜色强度向量的相关性识别待检测空间光调制器的正常点与缺陷点;根据分类器的分类结果和空间光调制器的多种颜色图像中同一发光单元的数据关系,对缺陷点进行进一步分类。该方法具有检测精度高、检测效率高的优点。 | ||
搜索关键词: | 具有 像素 结构 空间 调制器 缺陷 分类 方法 | ||
【主权项】:
一种具有子像素结构的空间光调制器缺陷分类方法,其特征在于,包括以下步骤:利用补偿矩阵对每次拍摄的图像进行背光补偿,其中,空间光调制器位于暗室中;采集多个先验为无坏点的空间光调制器的多种颜色图像,利用采集的多个先验为无坏点的空间光调制器的多种颜色图像,计算每种颜色图像的近似正太分布图样的强度分布,对每个发光单元,如果发光单元在颜色图像中的强度超过强度分布范围,就判定发光单元为缺陷点,来完成训练分类器,以及根据颜色强度均值记录5维的标准颜色强度向量,其中,多种颜色图像为每张图像只具有一种颜色且图像之间颜色不同的多张图像;采集待检测空间光调制器的多种颜色图像,如果发光单元中的强度超过强度分布范围,并且发光单元的强度向量与标准颜色强度向量相关性较弱,则判定发光单元为缺陷点;利用数字来表示发光单元的颜色强度在近似正太分布图样的颜色强度分布中的范围:‑1表示超出此种颜色分布的6‑Sigma下限,0表示位于此种颜色分布的6‑Sigma范围内,1表示超出此种颜色分布的6‑Sigma上限,并利用1表示与标准颜色强度向量相关性强,0表示相关性弱。
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