[发明专利]一种封装基板及其制作工艺

摘要

一种封装基板及其制作工艺，涉及到封装基板技术领域。解决现有2D平面结构封装基板存在封装厚度较高，3D结构的封装基板存在开发难度及成本较大，生产周期长的技术不足，包括有上基板和下基板；下基板置于上基板底部，与上基板底面通过胶层压合连接；上基板上开设有感光通孔，下基板上开设有与感光通孔对应的芯片存放孔，芯片存放孔尺寸大于感光通孔；上基板和下基板上分别设有电路，上基板的电路与下基板的电路通过金属化孔结构电连接，上基板底面位于感光通孔外围与下基板未压合区域上设有用于倒装芯片的电镀凸块，电镀凸块与上基板底面电路连接。上基板与下基板通过胶层压合，芯片孔降低封装厚度。产品高度集成，体积缩小；大部分制程采用传统PCB制作工艺，难度低，生产周期短。

主权项

一种封装基板的制作工艺，其特征在于所述工艺包括有如下步骤：1)、选取两块BT树脂材质的基板，将其中一块基板作上基板，另一块作下基板；2）、将两块基板分别清洗后溅镀钛和铜，在基板表面形成金属薄膜层；3）、在两块基板上分别经上光阻剂、光阻曝光、光阻显影及电镀铜操作，在两块基板上分别制作成相应的电路层；4）、去除上基板上光阻剂，重新进行上光阻剂、光阻曝光、光阻显影及在光阻显影后将上基板依次置于铜、镍、锡电解槽内进行电镀，在上基板的下表面电路层上电镀出电镀凸块；5）、在两块基板完成电镀操作之后，去除光阻剂置于蚀刻液中蚀刻掉裸露出的金属薄膜层，使电路层与保留的金属薄膜层形成电路；6）、在上基板上切割出感光通孔，在下基板上与感光通孔对应位置切割出尺寸大于感光通孔，且可容纳需倒装芯片的芯片存放孔；7）、将上基板与下基板通过胶层压合，感光通孔与芯片存放孔构成一个台阶结构的芯片孔；所述的电镀凸块位于台阶面上；8）、对压合状态的上基板和下基板进行钻孔，并对钻孔进行孔金属化处理。