[发明专利]一种封装基板及其制作工艺有效
| 申请号: | 201510360625.3 | 申请日: | 2015-06-26 |
| 公开(公告)号: | CN104979298B | 公开(公告)日: | 2017-11-21 |
| 发明(设计)人: | 朱美军 | 申请(专利权)人: | 江西芯创光电有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/14 | 分类号: | H01L23/14;H01L23/13;H05K3/00 |
| 代理公司: | 深圳市千纳专利代理有限公司44218 | 代理人: | 黄良宝 |
| 地址: | 343000 江西省吉*** | 国省代码: | 江西;36 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 封装 及其 制作 工艺 | ||
1.一种封装基板的制作工艺,其特征在于所述工艺包括有如下步骤:
1)、选取两块BT树脂材质的基板,将其中一块基板作上基板,另一块作下基板;
2)、将两块基板分别清洗后溅镀钛和铜,在基板表面形成金属薄膜层;
3)、在两块基板上分别经上光阻剂、光阻曝光、光阻显影及电镀铜操作,在两块基板上分别制作成相应的电路层;
4)、去除上基板上光阻剂,重新进行上光阻剂、光阻曝光、光阻显影及在光阻显影后将上基板依次置于铜、镍、锡电解槽内进行电镀,在上基板的下表面电路层上电镀出电镀凸块;
5)、在两块基板完成电镀操作之后,去除光阻剂置于蚀刻液中蚀刻掉裸露出的金属薄膜层,使电路层与保留的金属薄膜层形成电路;
6)、在上基板上切割出感光通孔,在下基板上与感光通孔对应位置切割出尺寸大于感光通孔,且可容纳需倒装芯片的芯片存放孔;
7)、将上基板与下基板通过胶层压合,感光通孔与芯片存放孔构成一个台阶结构的芯片孔;所述的电镀凸块位于台阶面上;
8)、对压合状态的上基板和下基板进行钻孔,并对钻孔进行孔金属化处理。
2.根据权利要求1所述的工艺,其特征在于:在第4)中还包括有去除下基板上光阻剂,重新进行上光阻剂、光阻曝光、光阻显影及在光阻显影后将下基板依次置于铜、镍、锡电解槽内进行电镀,在下基板的下表面电路层上电镀出焊接端子的操作。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江西芯创光电有限公司,未经江西芯创光电有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510360625.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:制造电子组件的方法
- 下一篇:一种半导体器件的制造方法





