[发明专利]MEMS器件以及制造MEMS器件的方法有效
| 申请号： | 201510351246.8 | 申请日： | 2015-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN105228076B | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | J·玛索内 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R31/00 | 分类号： | H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑立柱;董典红 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 公开了MEMS器件以及制造MEMS器件的方法。在实施例中，所述MEMS器件包括具有贯穿其中的空腔的支撑以及在所述支撑的空腔上方延伸的隔膜，其中所述隔膜至少部分地由石墨烯加固。 | ||
| 搜索关键词： | mems 器件 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS器件，包括：支撑，具有贯穿其中的空腔；以及隔膜，被布置在所述支撑上，使得所述隔膜在所述支撑的所述空腔上方延伸，其中所述隔膜至少部分地由石墨烯加固，其中所述隔膜被布置在所述支撑与所述石墨烯之间，以及其中所述隔膜在所述空腔上方是可位移的。
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