[发明专利]离子注入装置有效
| 申请号： | 201510349298.1 | 申请日： | 2015-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN105280468B | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 天野吉隆 | 申请（专利权）人： | 斯伊恩股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 徐殿军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种能够广范围使用的离子注入装置及离子注入方法。本发明的离子注入装置具备透镜电极单元(802)，其具备用于使离子束平行的多个电极；及真空单元(804)，将透镜电极单元(802)容纳于真空环境中。真空单元(804)具备第1真空容器(806)，其具备第1导电性容器壁(814)；第2真空容器(808)，其具备第2导电性容器壁(816)；及绝缘性容器壁(810)，将第1真空容器(806)与第2真空容器(808)彼此连通，且使第1导电性容器壁(814)与第2导电性容器壁(816)绝缘。设有使透镜电极单元802的多个电极中的至少1个电极与第1导电性容器壁(814)及第2导电性容器壁(816)中的至少一方绝缘的绝缘部件(828)，绝缘部件(828)与透镜电极单元(802)一起容纳于真空环境中。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 装置 | ||
【主权项】：
一种离子注入装置，其特征在于，具备：透镜电极单元，其具备用于使离子束平行的多个电极；及真空单元，其构成为将所述透镜电极单元容纳于真空环境中，所述真空单元具备：第1真空容器，其具备第1导电性容器壁；第2真空容器，其具备第2导电性容器壁；及绝缘性容器壁，将所述第1真空容器连接于所述第2真空容器，以使所述第1真空容器与所述第2真空容器彼此连通，且使所述第1导电性容器壁与所述第2导电性容器壁绝缘，所述离子注入装置还具备绝缘部件，其使所述多个电极中的至少1个电极与所述第1导电性容器壁及所述第2导电性容器壁中的至少一方绝缘，所述绝缘部件与所述透镜电极单元一起容纳于所述真空环境中。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于斯伊恩股份有限公司，未经斯伊恩股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510349298.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：白炽灯
- 下一篇：一种臭氧高频放电单元保护用限流熔断器
