[发明专利]离子注入装置

权利要求书

1.一种离子注入装置，其特征在于，具备：

透镜电极单元，其具备用于使离子束平行的多个电极；及

真空单元，其构成为将所述透镜电极单元容纳于真空环境中，

所述真空单元具备：

第1真空容器，其具备第1导电性容器壁；

第2真空容器，其具备第2导电性容器壁；及

绝缘性容器壁，将所述第1真空容器连接于所述第2真空容器，以使所述第1真空容器与所述第2真空容器彼此连通，且使所述第1导电性容器壁与所述第2导电性容器壁绝缘，

所述离子注入装置还具备绝缘部件，其使所述多个电极中的至少1个电极与所述第1导电性容器壁及所述第2导电性容器壁中的至少一方绝缘，

所述绝缘部件与所述透镜电极单元一起容纳于所述真空环境中。

2.根据权利要求1所述的离子注入装置，其特征在于，

所述透镜电极单元的一部分被所述绝缘性容器壁所包围。

3.根据权利要求1或2所述的离子注入装置，其特征在于，

所述透镜电极单元的后部被所述绝缘性容器壁包围，所述透镜电极单元的前部被所述第1导电性容器壁包围。

4.根据权利要求1或2所述的离子注入装置，其特征在于，

所述第1真空容器构成为，所述透镜电极单元用基准电位即终端电位施加到所述第1导电性容器壁，

所述第2真空容器构成为，与所述终端电位不同的电位施加到所述第2导电性容器壁。

5.根据权利要求4所述的离子注入装置，其特征在于，

与所述终端电位不同的电位和所述离子注入装置中的被处理物的电位相同。

6.根据权利要求1或2所述的离子注入装置，其特征在于，

所述绝缘部件使所述多个电极中的至少1个电极与所述第1导电性容器壁绝缘。

7.根据权利要求1或2所述的离子注入装置，其特征在于，

所述离子注入装置还具备：真空馈通配线，其用于从所述第1真空容器或所述第2真空容器的外部向所述透镜电极单元供电，所述真空馈通配线通过所述第1导电性容器壁或所述第2导电性容器壁与所述多个电极中的至少1个电极连接。

8.根据权利要求1或2所述的离子注入装置，其特征在于，

所述多个电极中的每个电极被分割成上部电极片及下部电极片，且所述上部电极片与所述下部电极片经由导电部件连结。

9.根据权利要求8所述的离子注入装置，其特征在于，

每个所述上部电极片及所述下部电极片为弯曲成弓形的棒状体。

10.根据权利要求9所述的离子注入装置，其特征在于，

所述棒状体的剖面形状大致呈四边形。

11.根据权利要求1或2所述的离子注入装置，其特征在于，

所述透镜电极单元以能够在所述透镜电极单元的一部分被所述绝缘性容器壁包围的使用位置与所述透镜电极单元整体被所述第1真空容器及所述第2真空容器中的一方收容的拆卸位置之间移动的方式设置于所述真空单元。

12.根据权利要求11所述的离子注入装置，其特征在于，

所述透镜电极单元具备支承所述多个电极的支承部件，所述真空单元具备在所述使用位置与所述拆卸位置之间引导所述支承部件的引导部。

13.根据权利要求12所述的离子注入装置，其特征在于，

所述第1真空容器及所述第2真空容器中的一方具备支承所述引导部的可拆卸壁部，

所述透镜电极单元构成为，当所述透镜电极单元处于所述拆卸位置时，可以从所述第1真空容器及所述第2真空容器中的一方与所述可拆卸壁部一体拆卸。

14.根据权利要求12或13所述的离子注入装置，其特征在于，

所述多个电极中的至少1个电极经由所述绝缘部件安装于所述支承部件。

15.根据权利要求12所述的离子注入装置，其特征在于，

所述透镜电极单元具备相对于所述离子束与所述支承部件对称配置的部件。