[发明专利]激光微束背部辐照芯片试验的聚焦平面定位装置及方法有效
| 申请号： | 201510347659.9 | 申请日： | 2015-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN104931509B | 公开（公告）日： | 2018-04-24 |
| 发明（设计）人： | 马英起;韩建伟;封国强;姜昱光;上官士鹏;余永涛;朱翔;陈睿 | 申请（专利权）人： | 中国科学院空间科学与应用研究中心 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京方安思达知识产权代理有限公司11472 | 代理人： | 王宇杨,杨青 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了激光微束背部辐照芯片试验的聚焦平面定位装置，用于对被测器件进行聚焦平面定位，所述装置包括试验用激光源(1)、聚焦光路调节模块(2)、成像CCD模块(3)、三维移动台(4)及三维移动台控制模块(5)；所述试验用激光源(1)用于发射固定参数的脉冲激光；所述聚焦光路调节模块(2)用于对所述试验用激光源(1)发射的脉冲激光进行调节；所述成像CCD模块(3)用于对被测器件的激光反射光斑进行成像；所述三维移动台(4)用于放置被测器件试验电路板；所述三维移动台控制模块(5)用于接收所述成像CCD模块(3)输出的反射光斑成像信号，进行成像对比度检测后形成反馈信号指令，自动调节所述三维移动台(4)的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 背部 辐照 芯片 试验 聚焦 平面 定位 装置 方法 | ||
【主权项】：
激光微束背部辐照芯片试验的聚焦平面定位装置，用于对被测器件进行聚焦平面定位，其特征在于，所述装置包括试验用激光源(1)、聚焦光路调节模块(2)、CCD成像模块(3)、三维移动台(4)及三维移动台控制模块(5)；所述试验用激光源(1)，用于发射固定参数的脉冲激光；所述聚焦光路调节模块(2)，用于对所述试验用激光源(1)发射的脉冲激光进行调节，使之成为试验用激光微束；所述CCD成像模块(3)，用于对被测器件的激光反射光斑进行成像，并输出反射光斑成像信号到所述三维移动台控制模块(5)；所述三维移动台(4)，用于放置被测器件试验电路板；所述三维移动台控制模块(5)，包括第一CCD成像处理单元和第一控制单元；所述第一CCD成像处理单元，用于接收所述CCD成像模块(3)输出的反射光斑成像信号，进行成像对比度检测后形成反馈信号指令，输出到所述第一控制单元；所述第一控制单元，用于接收所述第一CCD成像处理单元发送的反馈信号指令，形成方向和距离的移动控制信号，输出到所述三维移动台(4)，自动调节所述三维移动台(4)的位置，当调节到反射光斑的亮度最大值的位置时，完成扫描过程的聚焦平面定位。
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