[发明专利]基于双声光调制和偏振分光的迈克尔逊外差激光测振仪

摘要

基于双声光调制和偏振分光的迈克尔逊外差激光测振仪属于激光干涉测量领域；采用偏振分光镜PBS分光形成参考臂和测量臂，参考臂上和测量臂上的入射光束均经过声光调制器发生衍射，移频的一级衍射光通过光束折转元件调整，使光束传播方向平行于入射光束；通过调整角锥棱镜使反射光位于声光调制器上方，从而使测量光和参考光均只经过一次声光调制器，调节参考角锥棱镜和测量角锥棱镜使参考光和测量光再次经过偏振分光镜PBS时光束重合，并发生干涉；本发明采用较少的光学元件实现了外差激光干涉测量，光路调整简单，可有效解决现有技术方案中存在光路调整复杂等问题，在超精密振动测量领域具有显著的技术优势。

主权项

一种基于双声光调制和偏振分光的迈克尔逊外差激光测振仪，由激光器(1)、二分之一波片(16)、偏振分光镜(2)、第一声光调制器(3)、第一光束折转元件(14)、测量角锥棱镜(4)、第二声光调制器(5)、第二光束折转元件(6)、参考角锥棱镜(7)、检偏器(17)、高速光电探测器(8)组成，其特征在于：所述激光器(1)发出线偏振光，经二分之一波片(16)调整偏振方向，然后经偏振分光镜(2)进行分光，反射光形成第一光束(9)作为测量光，透射光形成第二光束(10)作为参考光；第一光束(9)经过第一声光调制器(3)产生第一衍射光束(15)，第一衍射光束(15)经第一光束折转元件(14)调整后，光束传播方向平行于第一光束(9)，经测量角锥棱镜(4)反射后，再经偏振分光镜(2)透射形成第三光束(12)；第二光束(10)经过第二声光调制器(5)产生第二衍射光束(11)，第二衍射光束(11)经第二光束折转元件(6)调整后，光束传播方向平行于第二光束(10)，经参考角锥棱镜(7)反射后，再经消偏振分光镜(2)反射形成第四光束(13)；第三光束(12)、第四光束(13)光路重合、且偏振方向正交；第三光束(12)、第四光束(13)经过检偏器(17)后发生干涉，被高速光电探测器(8)接收。