[发明专利]基于双声光调制和偏振分光的迈克尔逊外差激光测振仪

权利要求书

1.一种基于双声光调制和偏振分光的迈克尔逊外差激光测振仪，由激光器(1)、二分之一波片(16)、偏振分光镜(2)、第一声光调制器(3)、第一光束折转元件(14)、测量角锥棱镜(4)、第二声光调制器(5)、第二光束折转元件(6)、参考角锥棱镜(7)、检偏器(17)、高速光电探测器(8)组成，其特征在于：所述激光器(1)发出线偏振光，经二分之一波片(16)调整偏振方向，然后经偏振分光镜(2)进行分光，反射光形成第一光束(9)作为测量光，透射光形成第二光束(10)作为参考光；第一光束(9)经过第一声光调制器(3)产生第一衍射光束(15)，第一衍射光束(15)经第一光束折转元件(14)调整后，光束传播方向平行于第一光束(9)，经测量角锥棱镜(4)反射后，再经偏振分光镜(2)透射形成第三光束(12)；第二光束(10)经过第二声光调制器(5)产生第二衍射光束(11)，第二衍射光束(11)经第二光束折转元件(6)调整后，光束传播方向平行于第二光束(10)，经参考角锥棱镜(7)反射后，再经消偏振分光镜(2)反射形成第四光束(13)；第三光束(12)、第四光束(13)光路重合、且偏振方向正交；第三光束(12)、第四光束(13)经过检偏器(17)后发生干涉，被高速光电探测器(8)接收。

2.根据权利要求1所述的基于双声光调制和偏振分光的迈克尔逊外差激光测振仪，其特征在于：所述第一、二光束折转元件(14、6)为平面反射镜或楔形块。

3.根据权利要求1所述的基于双声光调制和偏振分光的迈克尔逊外差激光测振仪，其特征在于：所述第一、二声光调制器(3、5)的一级衍射光与入射光偏振正交。

4.根据权利要求1所述的基于双声光调制和偏振分光的迈克尔逊外差激光测振仪，其特征在于：所述激光器(1)为稳频激光器。