[发明专利]一种可控的二维材料柔性转移方法

摘要

本发明公开了一种可控的二维材料柔性转移方法，所述方法包括步骤：首先，由机械剥离方法或者其他方法得到待转移的目标二维材料；然后，在该二维材料表面喷涂上聚碳酸亚丙酯胶；静置并加热使聚碳酸亚丙酯胶固化后，二维材料将依附于成形的聚碳酸亚丙酯薄膜下方；接着将该薄膜安装在载有聚二甲基硅氧烷缓冲层的微观操作手上，并借助光学显微镜精确对准到目标基底的目标位置；最后加热融化聚碳酸亚丙酯薄膜，并用有机溶剂去除残留的聚碳酸亚丙酯。本发明实现了二维材料的精确可控转移。该方法工艺简单、效率高且适用性广泛，有较好的扩展性，在微电子领域、生物检测领域和电池领域有着较广的使用前景。

主权项

一种可控的二维材料柔性转移方法，其特征在于：包括以下步骤：1)获取目标二维材料样品，置于普通基底上；2)在所述普通基底上喷涂聚碳酸亚丙酯胶溶液；3)静置，待所述聚碳酸亚丙酯溶液中的溶剂挥发，聚碳酸亚丙酯成薄膜状；4)将所述聚碳酸亚丙酯薄膜加热固化，所述目标二维材料样品依附于成形的聚碳酸亚丙酯薄膜下方；5)揭下已固化并吸附着所述目标二维材料样品的所述聚碳酸亚丙酯薄膜，安装在设于微观操作手上的聚二甲基硅氧烷缓冲层上；6)所述微观操作手将所述目标二维材料样品转移至目标基底的目标位置处并压紧；7)加热目标基底，待所述聚碳酸亚丙酯薄膜液化后，移除微观操作手；8)用有机溶剂去除所述目标基底上残余的聚碳酸亚丙酯。