[发明专利]一种可控的二维材料柔性转移方法有效
申请号: | 201510331341.1 | 申请日: | 2015-05-28 |
公开(公告)号: | CN104960286A | 公开(公告)日: | 2015-10-07 |
发明(设计)人: | 陈云飞;倪振华;邹益人;袁志山;赵伟玮;伍根生;徐伟;司伟;沙菁洁;刘磊 | 申请(专利权)人: | 东南大学 |
主分类号: | B32B18/00 | 分类号: | B32B18/00;B32B9/04 |
代理公司: | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人: | 杨晓玲 |
地址: | 211189 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 可控 二维 材料 柔性 转移 方法 | ||
1.一种可控的二维材料柔性转移方法,其特征在于:包括以下步骤:
1)获取目标二维材料样品,置于普通基底上;
2)在所述普通基底上喷涂聚碳酸亚丙酯胶溶液;
3)静置,待所述聚碳酸亚丙酯溶液中的溶剂挥发,聚碳酸亚丙酯成薄膜状;
4)将所述聚碳酸亚丙酯薄膜加热固化,所述目标二维材料样品依附于成形的聚碳酸亚丙酯薄膜下方;
5)揭下已固化并吸附着所述目标二维材料样品的所述聚碳酸亚丙酯薄膜,安装在设于微观操作手上的聚二甲基硅氧烷缓冲层上;
6)所述微观操作手将所述目标二维材料样品转移至目标基底的目标位置处并压紧;
7)加热目标基底,待所述聚碳酸亚丙酯薄膜液化后,移除微观操作手;
8)用有机溶剂去除所述目标基底上残余的聚碳酸亚丙酯。
2.根据权利要求1所述的可控的二维材料柔性转移方法,其特征在于:步骤1)中,所述获取目标二维材料样品的方法包括机械剥离、化学气象沉积及化学氧化还原方法;所述目标二维材料样品的平面大小为1μm×1μm~10mm×10mm,厚度为0.15nm~100μm。
3.根据权利要求1所述的可控的二维材料柔性转移方法,其特征在于:步骤2)中所述聚碳酸亚丙酯溶液的溶剂为丙酮,所述聚碳酸亚丙酯溶液的质量分数为0.1g/ml~0.5g/ml,喷涂厚度为0.1mm~100mm。
4.根据权利要求1所述的可控的二维材料柔性转移方法,其特征在于:步骤3)中所述静置时间范围为3h~48h,静置温度范围为0℃~20℃。
5.根据权利要求1所述的可控的二维材料柔性转移方法,其特征在于:步骤4)中所述加热固化的温度为50~120℃,加热时间为2min~30min。
6.根据权利要求1所述的可控的二维材料柔性转移方法,其特征在于:步骤5)中所述聚二甲基硅氧烷缓冲层的厚度范围为1mm~1000mm;所述聚二甲基硅氧烷缓冲层的制备方法为:将柔性透明的二甲基硅氧烷薄膜自吸附在一块厚度为1mm~5mm的透明玻璃载玻片上。
7.根据权利要求1所述的可控的二维材料柔性转移方法,其特征在于:所述步骤6)是在光学显微镜下用微观操作手进行操作的。
8.根据权利要求1所述的可控的二维材料柔性转移方法,其特征在于:步骤7)中所述加热方式为加热平台恒温加热,使聚碳酸亚丙酯薄膜液化的温度为120℃~240℃,持续时间为1min~10min。
9.根据权利要求1所述的可控的二维材料柔性转移方法,其特征在于:步骤8)中所述有机溶剂为丙酮。
10.根据权利要求1至9任一所述的可控的二维材料柔性转移方法,其特征在于:所述目标基底为纯介质层或复合介质层。
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