[发明专利]高温化学气相沉积设备及其加热系统

摘要

本发明公开了一种高温化学气相沉积设备及其加热系统，所述用于高温化学气相沉积设备的加热系统包括发热体，支撑在所述加热体下部的发热体支撑部件，与所述发热体支撑部件连接的陶瓷绝缘件，设置在所述陶瓷绝缘件上部的热辐射防护件，以及设置在所述陶瓷绝缘部件底部的隔热部件。本发明提供的用于高温化学气相沉积设备的加热系统，可以起到支撑、绝缘、辐射防护及保持温度的作用，特别是对高温化学气相沉积设备的有效使用起到了完好的防护作用。

主权项

1.一种用于高温化学气相沉积设备的加热系统，包括发热体，所述发热体的能够产生2000℃以上的发热温度；其特征在于，所述用于高温化学气相沉积设备的加热系统还包括:发热体支撑件，采用能够耐受2000℃以上高温的导电材料制成，所述发热体支撑件的一端支撑连接于所述发热体的下部，包括支撑部和多个沿支撑部边缘向下延伸而形成的臂部；支撑部与加热体底部连接，从下方支撑发热体；臂部的下部与陶瓷绝缘件的端部连接；陶瓷绝缘件,所述陶瓷绝缘件与所述发热支撑件的另一端连接；所述陶瓷绝缘件包括端部和侧部；所述陶瓷绝缘件端部设置有与所述发热体支撑件的臂部位置对应且个数相等的容置盲孔，每个臂部从支撑部向下延伸，伸入容置盲孔内；热辐射防护件,所述热辐射防护件设置于所述发热体和所述陶瓷绝缘件之间，由对高温的耐受能力大于陶瓷的材料制成；所述热辐射防护件包括第一防护部和第二防护部；所述第一防护部设置于所述发热体与所述陶瓷绝缘件的端部之间,所述第二防护部设置在所述发热体与所述陶瓷绝缘件的侧部之间；所述热辐射防护件的第一防护部设置在所述陶瓷绝缘件的端部上，所述第二防护部沿着所述第一防护部的外侧向周围延伸预定的距离。