[发明专利]一种环状PN结

摘要

本发明公开了一种环状PN结，所述环状PN结采用台阶PN结，在其PN结面中心位置构造有圆形阶面凹陷，与外围形成台阶结构。所述环状PN结嵌入在衬底上表面，环状PN结底部与衬底上表面处于同一平面；在衬底的上表面边缘生长有氧化层，所述氧化层并覆盖环状PN结；在环状PN结的底部上方设有铝层，所述铝层并覆盖氧化层边缘。应用本发明的环状PN结结构的恒流二极管具备恒流特性，且击穿电压已突破现有产品的2倍以上。

主权项

1.一种具有环状PN结的恒流二极管，其特征在于所述环状PN结采用台阶PN结(2)，在其PN结面中心位置构造有圆形阶面凹陷(2‑1)，与外围(2‑2)形成台阶结构；所述台阶PN结(2)嵌入在衬底(1)上表面，台阶PN结(2)顶部与衬底(1)上表面处于同一平面；在衬底(1)的上表面边缘生长有氧化层(3)，所述氧化层(3)并覆盖台阶PN结(2)；在台阶PN结(2)的顶部上方设有铝层(4)，所述铝层(4)并覆盖氧化层(3)边缘；所述衬底(1)为N型衬底，片厚200μm，电阻率50；所述氧化层(3)厚度2μm；所述外围(2‑2)为P‑区，硼扩散，结深50μm，表面方块电阻500；所述圆形阶面凹陷(2‑1)为P+区，硼扩散，结深20μm，表面方块电阻20。