[发明专利]一种环状PN结有效
| 申请号： | 201510319657.9 | 申请日： | 2015-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN104952911B | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | 倪侠;张俊 | 申请（专利权）人： | 江苏东晨电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/861 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 徐冬涛 |
| 地址： | 214205 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 环状 pn | ||
【权利要求书】：
1.一种具有环状PN结的恒流二极管，其特征在于所述环状PN结采用台阶PN结(2)，在其PN结面中心位置构造有圆形阶面凹陷(2-1)，与外围(2-2)形成台阶结构；所述台阶PN结(2)嵌入在衬底(1)上表面，台阶PN结(2)顶部与衬底(1)上表面处于同一平面；在衬底(1)的上表面边缘生长有氧化层(3)，所述氧化层(3)并覆盖台阶PN结(2)；在台阶PN结(2)的顶部上方设有铝层(4)，所述铝层(4)并覆盖氧化层(3)边缘；所述衬底(1)为N型衬底，片厚200μm，电阻率50；所述氧化层(3)厚度2μm；所述外围(2-2)为P-区，硼扩散，结深50μm，表面方块电阻500；所述圆形阶面凹陷(2-1)为P+区，硼扩散，结深20μm，表面方块电阻20。
2.根据权利要求1所述的一种恒流二极管，其特征在于所述衬底(1)双面抛光，各去除10μm表面损伤层。
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