[发明专利]一种钒钨合金靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 201510318834.1 | 申请日： | 2015-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN104946950A | 公开（公告）日： | 2015-09-30 |
| 发明（设计）人： | 徐玄;顾进跃;顾伟华;李巧梅;马辉 | 申请（专利权）人： | 深圳市威勒达科技开发有限公司 |
| 主分类号： | C22C27/02 | 分类号： | C22C27/02;C22C1/04;B22F3/115 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种钒钨合金靶材及其制备方法，该靶材由钒粉、钨粉及粘结剂制作组成，其中钒粉与钨粉的质量配比为19:1～3:2，所述钒粉与钨粉的纯度大于99.5％。该制备方法包括以下步骤：按比例称取钒粉与钨粉，并将两者充分混匀；将混匀的钒粉和钨粉加入粘结剂进一步混匀，并处理得到干燥的钒钨粉与粘结剂的复合粉末材料；将步骤(2)的复合粉末材料进行等离子喷涂操作；取下喷涂所得的构件，并对所述构件进行处理得到成品。本发明的钒钨合金靶材均匀性好，稳定性高。本发明的制备方法采用等离子喷涂方式简单易行，无需模具设计和昂贵的压制设备，操作方便，制备所得的靶材溅射性能优良，杂质少，适用于光学镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种钒钨合金靶材，其特征在于，由钒粉、钨粉及粘结剂制作组成，其中钒粉与钨粉的质量配比为99:1～95:5，所述钒粉与钨粉的纯度大于99.5％。
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