[发明专利]一种钒钨合金靶材及其制备方法

权利要求书

1.一种钒钨合金靶材，其特征在于，由钒粉、钨粉及粘结剂制作组成，其中钒粉与钨粉的质量配比为99:1～95:5，所述钒粉与钨粉的纯度大于99.5％。

2.根据权利要求1所述的钒钨合金靶材，其特征在于，所述粘结剂的溶质为醇酸清漆，溶剂为200#汽油，两者体积比为1：30～1：10。

3.根据权利要求1所述的钒钨合金靶材，其特征在于，所述钒粉粒度为5～150um，所述钨粉粒度为小于10um。

4.一种如权利要求1～3所述的钒钨合金靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)按比例称取钒粉与钨粉/三氧化钨/蓝钨，并将两者充分混匀；

(2)将混匀的钒粉和钨粉加入粘结剂进一步混匀，并处理得到干燥的钒钨粉与粘结剂的复合粉末材料；

(3)将步骤(2)的复合粉末材料进行等离子喷涂操作；

(4)取下喷涂所得的构件，并对所述构件进行处理得到成品。

5.根据权利要求4所述的钒钨合金靶材的制备方法，其特征在于，当使用所述步骤(1)的三氧化钨或蓝钨时，还包括将钒粉和三氧化钨或蓝钨一起通氢气还原两次的步骤，第一次还原温度在500～600℃，还原时间为30min～45min，再次还原温度为700～900℃，还原时间为30min。

6.根据权利要求4所述的钒钨合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)的混匀方式为：用滚筒混料机混匀，其转速为60～100r/min，混匀时间为0.5～2h。

7.根据权利要求5所述的钒钨合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)的等离子喷涂操作采用真空等离子喷涂系统进行操作，系统真空室内温度为10～80℃，氧含量0～600ppm，压力为100～125个kPa，喷涂距离100～300mm，喷涂功率60～80kW，转盘转速为300～500r/min，送粉速率为3～7kg/h,喷枪移动速率为70～150mm/s，喷涂角度为60°～90°，单次连续喷涂时间为30～60min，所述等离子喷涂系统的芯模材料采用圆柱形石墨芯模，喷涂厚度为5～100mm。

8.根据权利要求6所述的矾钨合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤(4)的处理方式为：对所述构件采用真空中频感应烧结炉进行烧结处理，之后进行机械打磨和超声波清洗。

9.根据权利要求8所述的矾钨合金靶材的制备方法，其特征在于，所述烧结处理的升温速率为10～20℃/min，烧结温度为20～1500℃，整体烧结时间为2～15h。