[发明专利]一种全自动蚀刻清洗装置在审
| 申请号: | 201510311259.2 | 申请日: | 2015-06-09 |
| 公开(公告)号: | CN104853527A | 公开(公告)日: | 2015-08-19 |
| 发明(设计)人: | 韦建敏;赵兴文;张晓蓓;张小波 | 申请(专利权)人: | 成都虹华环保科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H05K3/26 | 分类号: | H05K3/26 |
| 代理公司: | 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 | 代理人: | 袁英 |
| 地址: | 610000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种全自动蚀刻清洗装置,它包括蚀刻槽(1)、清洗槽(14)、抓取机构、横杆(8)、支架(9)和控制箱(10),抓取机构包括机械手控制器(11)、机械臂(12)和机械手(13),蚀刻槽(1)上安装有蚀刻剂管(5),蚀刻剂管(5)的入口连接有蚀刻泵(4),蚀刻剂管(5)的出口位于蚀刻槽(1)内,蚀刻泵(4)连接有一蚀刻辅助槽(2),检测装置(3)内设置有比重计(31)和探头(32),蚀刻槽(1)的侧壁上设置有一控制器(6),清洗槽(14)安装有自来水管(15),清洗槽(14)底部还设置有一出水口(17)。本发明的有益效果是:它具有自动化程度高、蚀刻质量好的劳动强度低的优点。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 全自动 蚀刻 清洗 装置 | ||
【主权项】:
一种全自动蚀刻清洗装置,其特征在于:它包括蚀刻槽(1)、清洗槽(14)、抓取机构、横杆(8)、支架(9)和控制箱(10),所述的抓取机构包括机械手控制器(11)、机械臂(12)和机械手(13),所述的机械手控制器(11)和机械臂(12)活动连接,机械手控制器(11)与机械手(13)之间连接有导线,机械手控制器(11)活动安装在横杆(8)上,所述的横杆(8)安装在支架(9)上,所述的控制箱(10)和机械手控制器(11)连接,所述的蚀刻槽(1)上安装有蚀刻剂管(5)和检测装置(3),蚀刻剂管(5)的入口连接有一蚀刻泵(4),蚀刻剂管(5)的出口位于蚀刻槽(1)内,所述的蚀刻泵(4)连接有一蚀刻辅助槽(2),所述的检测装置(3)与蚀刻槽(1)的底部连通,检测装置(3)内设置有比重计(31)和探头(32),比重计(31)位于探头(32)的下部,所述的蚀刻槽(1)的侧壁上设置有一控制器(6),蚀刻泵(4)和探头(32)与控制器(6)电连接,所述的清洗槽(14)安装有自来水管(15),所述的自来水管(15)通过自来水管接入口(16)和外部自来水管连接,所述的清洗槽(14)底部还设置有一出水口(17),出水口(17)与出水管连接。
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