[发明专利]用于观察特征的自动化片状铣削

摘要

本发明提供用于观察特征的自动化片状铣削。提供一种利用带电粒子束系统执行切削和观察技术的方法和设备。通过机器视觉定位样品图像中的感兴趣的特征，并且至少部分地通过分析由所述机器视觉收集的数据来确定将在后续切削和观察迭代中铣削及成像的区域。所确定的铣削区域可以被表示成围绕特征的限位框，其维度可以根据所述分析步骤而改变。于是，在双束系统中，相应地调节FIB以便在后续切削和观察迭代中切削和铣削出新的面，并且SEM对所述新的面进行成像。由于本发明精确地定位所述特征并且确定将要铣削及成像的区域的适当尺寸，因此就通过防止对不包含所感兴趣的特征的基底进行不必要的铣削而提高了效率。

主权项

一种利用带电粒子束成像观测样品内的特征的方法，其包括：（a）把离子束导向所述样品以从所述样品去除材料的第一切片，所述第一切片的去除暴露出所述特征的一部分的第一表面；（b）把带电粒子束导向所述第一表面以获得来自所述第一表面的图像信息；（c）分析所述图像信息并且使用从所述分析获得的关于所述特征的信息预测用于实施从所述样品去除材料的第二切片的参数，所述第二切片的去除将导致所述特征的所述一部分的第二表面被暴露，其中所述参数包括将被铣削的区域的尺寸和形状、所述样品相对于所述离子束和所述带电粒子束的方位或它们的组合；以及（d）通过根据所预测的参数将所述离子束导向所述样品来实施所述第二切片的去除，其中所述样品的被去除了所述第二切片的区域包括第一表面和围绕所述第一表面周界的区域，所述围绕所述第一表面周界的区域被限定为用于在预测所述第二表面的位置、尺寸和形状时考虑误差。