[发明专利]一种提高半导体激光器可靠性方法在审
申请号: | 201510280995.6 | 申请日: | 2015-05-28 |
公开(公告)号: | CN106300010A | 公开(公告)日: | 2017-01-04 |
发明(设计)人: | 李再金;李特;曲轶;乔忠良;李辉;李林;刘国军;薄报学;马晓辉 | 申请(专利权)人: | 长春理工大学 |
主分类号: | H01S5/22 | 分类号: | H01S5/22 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 130022 *** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明属于半导体光电子学技术领域,涉及一种提高半导体激光器可靠性方法,包括:半导体激光器解理条1,厚度为2.5纳米钆2,厚度为20纳米的钆镓榴石3。将解理好的半导体激光器解理条1整齐的堆叠在镀膜夹具上,放入镀膜机里,抽取真空。当真空度达到高真空时,开始镀膜,首先镀厚度为2.5纳米钆2,再镀厚度为20纳米的钆镓榴石3,这种方法膜能有效地降低半导体激光器腔面损伤,提高半导体激光器的可靠性。本发明能有效地提高半导体激光器的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 半导体激光器 可靠性 方法 | ||
【主权项】:
一种提高半导体激光器可靠性方法,其特征在于包括:半导体激光器解理条1,钆2,钆镓榴石3,具体步骤如下:步骤(1),将解理好的半导体激光器解理条1整齐的堆叠在镀膜夹具上,放入镀膜机里,抽取真空;步骤(2),当达到高真空度时,镀钆2,厚度在2纳米‑3纳米之间;步骤(3),镀钆镓榴石3,厚度在15纳米‑20纳米之间。
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