[发明专利]产生用于光谱仪光谱校准的梳状光谱的光源装置

摘要

本发明公开了一种产生用于光谱仪光谱校准的梳状光谱的光源装置，包括宽谱段光源，其用于发出连续光谱的光；准直装置，其对准宽谱段光源设置，用于准直耦合进宽谱段光源发出的光；法布里佩罗标准具，其对准准直装置设置，以使从准直装置平行入射的光发生等倾干涉，并滤出满足透射条件的多个等频率间隔的不同波长的窄带光；聚焦镜，其对准法布里佩罗标准具设置，以将窄带光汇聚至聚焦镜的出射小孔，形成光谱成分为窄带的梳状光。本发明能提供高分辨率、高密度的梳状光谱信号，可一次获取均匀间隔的多个单色通道的光谱校准数据，且特征波长数及分布均匀性均优于传统汞氩灯光源，特别适合于多项式拟合校准的光栅光谱仪的校准。

主权项

一种产生用于光谱仪光谱校准的梳状光谱的光源装置，其特征在于，包括：宽谱段光源，其用于发出连续光谱的光；准直装置，其对准所述宽谱段光源设置，用于准直所述宽谱段光源发出的光；法布里佩罗标准具，其对准所述准直装置设置，以使从所述准直装置平行入射的光发生等倾干涉，并滤出满足透射条件的多个等频率间隔的不同波长的窄带光；聚焦镜，其对准所述法布里佩罗标准具设置，以将所述窄带光汇聚至所述聚焦镜的出射小孔，形成光谱成分为窄带的梳状光；入射光纤，其连接于所述宽谱段光源，传输耦合进所述入射光纤的光，所述入射光纤的光纤芯径为105μm，数值孔径NA＝0.22，光纤接口为SMA905光纤接口；其中，所述法布里佩罗标准具波长为750‑1050nm，空气隙厚度为0.333mm，自由光谱范围ΔνFSR＝15cm‑1，平面度λ/80，精细度F≥30，通光孔径Φ20mm。