[发明专利]产生用于光谱仪光谱校准的梳状光谱的光源装置有效
申请号: | 201510261359.9 | 申请日: | 2015-05-21 |
公开(公告)号: | CN105092027B | 公开(公告)日: | 2018-01-19 |
发明(设计)人: | 熊胜军;钟卉;赵喜;夏征 | 申请(专利权)人: | 北京华泰诺安探测技术有限公司 |
主分类号: | G01J3/10 | 分类号: | G01J3/10 |
代理公司: | 北京名华博信知识产权代理有限公司11453 | 代理人: | 苗源 |
地址: | 101318 北京市顺义区临*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 产生 用于 光谱仪 光谱 校准 光源 装置 | ||
1.一种产生用于光谱仪光谱校准的梳状光谱的光源装置,其特征在于,包括:
宽谱段光源,其用于发出连续光谱的光;
准直装置,其对准所述宽谱段光源设置,用于准直所述宽谱段光源发出的光;
法布里佩罗标准具,其对准所述准直装置设置,以使从所述准直装置平行入射的光发生等倾干涉,并滤出满足透射条件的多个等频率间隔的不同波长的窄带光;
聚焦镜,其对准所述法布里佩罗标准具设置,以将所述窄带光汇聚至所述聚焦镜的出射小孔,形成光谱成分为窄带的梳状光;
入射光纤,其连接于所述宽谱段光源,传输耦合进所述入射光纤的光,所述入射光纤的光纤芯径为105μm,数值孔径NA=0.22,光纤接口为SMA905光纤接口;
其中,所述法布里佩罗标准具波长为750-1050nm,空气隙厚度为0.333mm,自由光谱范围ΔνFSR=15cm-1,平面度λ/80,精细度F≥30,通光孔径Φ20mm。
2.如权利要求1所述的产生用于光谱仪光谱校准的梳状光谱的光源装置源系统,其特征在于,还包括:出射光纤,其连接于所述聚焦镜,以使所述窄带光耦合进所述出射光纤输出光谱成分为窄带的梳状光,所述出射光纤的芯径为105μm,数值孔径NA=0.22,光纤接口为SMA905光纤接口。
3.如权利要求1所述的产生用于光谱仪光谱校准的梳状光谱的光源装置,其特征在于,所述宽谱段光源的光谱范围为:360-2500nm,输出功率为7W,色温为3000K。
4.如权利要求1所述的产生用于光谱仪光谱校准的梳状光谱的光源装置,其特征在于,所述准直装置为准直镜,所述准直镜和所述聚焦镜均采用同参数的离轴抛物反射镜,所述离轴抛物反射镜为无色差反射镜,焦距为25.4mm,口径为Φ25.4mm,离轴角为30°。
5.如权利要求1所述的产生用于光谱仪光谱校准的梳状光谱的光源装置,其特征在于,所述聚焦镜的出射小孔的孔径为Φ0.2mm。
6.如权利要求1所述的产生用于光谱仪光谱校准的梳状光谱的光源装置,其特征在于,所述宽谱段光源为卤钨灯光源、氙灯或者白光激光器。
7.如权利要求1所述的产生用于光谱仪光谱校准的梳状光谱的光源装置,其特征在于,所述宽谱段光源的出光口可置于所述准直装置的焦点处形成紧凑型配置对光耦合进入所述准直装置的光进行准直。
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