[发明专利]取向膜检测装置及方法有效
申请号: | 201510257769.6 | 申请日: | 2015-05-19 |
公开(公告)号: | CN104820302B | 公开(公告)日: | 2018-05-18 |
发明(设计)人: | 井杨坤;江昌俊 | 申请(专利权)人: | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G02F1/1337 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;黄灿 |
地址: | 230012 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明提供了一种取向膜检测装置及方法,其中所述取向膜检测装置包括:用于获取基板的取向膜上的配向沟槽的图像信息的图像成像单元;以及用于根据图像信息,判定取向膜上的配向沟槽是否存在缺陷的图像处理单元。本发明所提供的取向膜检测装置及方法,可以对基板上的取向膜的缺陷进行检测,通过图像成像单元可以获取基板上的取向膜的配向沟槽的图像信息,并利用图像处理单元根据所述图像信息进行识别处理,能准确判定各配向沟槽是否存在缺陷,与现有技术中采用蒸汽人工检测取向膜缺陷的方法相比,避免了人工对基板取向膜缺陷检测时,识别率较低,容易出现误检,且检测效率较低等问题,提高了检测效率以及检测结果的准确度和可信度。 | ||
搜索关键词: | 取向 检测 装置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种取向膜检测装置,用于对形成在基板的取向膜上的配向沟槽进行检测,其特征在于,所述取向膜检测装置包括:用于获取基板的取向膜上的配向沟槽的图像信息的图像成像单元;以及,用于根据所述图像信息,判定取向膜上的配向沟槽是否存在缺陷的图像处理单元,所述图像处理单元与图像成像单元连接。
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