[发明专利]取向膜检测装置及方法

说明书

本发明提供了一种取向膜检测装置及方法，其中所述取向膜检测装置包括：用于获取基板的取向膜上的配向沟槽的图像信息的图像成像单元；以及用于根据图像信息，判定取向膜上的配向沟槽是否存在缺陷的图像处理单元。本发明所提供的取向膜检测装置及方法，可以对基板上的取向膜的缺陷进行检测，通过图像成像单元可以获取基板上的取向膜的配向沟槽的图像信息，并利用图像处理单元根据所述图像信息进行识别处理，能准确判定各配向沟槽是否存在缺陷，与现有技术中采用蒸汽人工检测取向膜缺陷的方法相比，避免了人工对基板取向膜缺陷检测时，识别率较低，容易出现误检，且检测效率较低等问题，提高了检测效率以及检测结果的准确度和可信度。

技术领域

本发明涉及液晶显示技术领域，尤其涉及一种取向膜检测装置及方法。

背景技术

在薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，以下简称为TFT-LCD)的阵列基板和彩膜基板上分别设置有取向膜，取向膜上设置有沿一定方向的沟槽，用于使液晶分子在无电场影响的情况下沿沟槽方向排列。一般情况下，通过包裹在摩擦辊轮上的摩擦布对涂覆并固化在玻璃基板上的聚酰亚胺(Polyimide，以下简称为PI)膜进行摩擦，在PI膜表面获得具有沿预定方向的沟槽，使PI膜成为具有取向功能的取向膜。

在制备取向膜的过程中，由于摩擦布可能存在的缺陷，如摩擦布宽度不均匀、表面粘附有异物或摩擦配向过程中的杂质等，会使得制备出的取向膜上的沟槽的方向、形状及深度等产生偏差(即Rubbing mura)，进而影响取向性能。因此，在将取向膜制备完成之后，需要对取向膜上的沟槽是否存在缺陷进行检测。

在现有技术中，一般通过下述方法检测取向膜上的沟槽是否存在缺陷：

蒸汽喷头(一般由检测者手持)向玻璃基板的取向膜表面喷射水蒸气，使沟槽的表面产生水珠微粒；同时，使用强光灯照射取向膜上喷射水蒸气的区域，由人眼目视观察沟槽在强光灯照射下的情况(光线穿过沟槽的缺陷处时会产生漫反射)，判断取向膜上的沟槽是否存在缺陷(一般为亮线，即线状Mura)。

在检测出取向膜上的沟槽存在缺陷时，一般通过标尺测量出沟槽缺陷所在的位置，经过人工换算后，找出导致该沟槽缺陷产生的摩擦布上的缺陷所在的大概位置，对该摩擦布缺陷所在的区域进行修复；而后，再次进行摩擦工艺，通过上述的蒸汽检测方法检测取向膜上是否仍然存在上述沟槽缺陷，进而确定是否消除摩擦布缺陷。

在实际中，上述蒸汽检测方法存在以下问题：

其一，在喷射到玻璃基板及取向膜表面的水蒸气附着在玻璃基板及取向膜表面，产生水珠微粒的同时，由于空气流动、蒸发等因素，水珠微粒也会不断地散去，使得检测过程中需要长时间持续的喷射蒸汽，并导致效率较低。

其二，使用人工检测取向膜上的沟槽是否存在缺陷，使检测的效率较低；并且，不同检测者人眼检测的尺度很难统一，还会使检测结果的可信度不高。

其三，由于蒸汽喷头由检测者手持，在玻璃基板及取向膜较大的情况下，有些位置蒸汽喷头“够不到”，导致无法对取向膜上一些区域的沟槽是否存在缺陷进行检测。

其四，蒸汽喷头一般直接连接被加热的水箱，在水箱中的水位较高的情况下，部分水箱中的水珠会穿过蒸汽喷头溅射到取向膜上，从而影响后续工艺，导致不良影响。

其六，随着TFT LCD的配向沟槽检出能力不断提高，要求取向膜上的沟槽也越来越小，由于玻璃基板及取向膜表面产生的水珠微粒的均一度较低，以及人眼观察的局限性，上述蒸汽检测方法不能满足用于高配向沟槽检出能力TFT LCD中的取向膜的检测的需要。