[发明专利]一种高品质因数高质量灵敏度的QCM传感器在审
| 申请号： | 201510237773.6 | 申请日： | 2015-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN104807717A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 谭峰;邱渡裕;叶芃;黄武煌;曾浩;蒋俊;郭连平;赵勇;潘卉青 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01N5/02 | 分类号： | G01N5/02 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 温利平 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高品质因数高质量灵敏度的QCM传感器，采用一种单面带有反台式圆形凹槽的谐振底板，通过增加谐振底板圆形凹槽外围区域(圆环状平台)的质量，同时上金属电极的布局即包括覆盖在圆环状平台表面的圆环状电极以及圆形凹槽表面覆盖的圆形电极，圆环状电极以及圆形电极通过金属导体连通，达到改善能陷效应和能量集中效应，进而提高QCM传感器的品质因数。同时，这样可以通过减小部分有效谐振区域的厚度，达到提高QCM传感器质量灵敏度的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 品质因数 质量 灵敏度 qcm 传感器 | ||
【主权项】：
一种高品质因数高质量灵敏度的QCM传感器，包括：谐振底板以及位于谐振底板表面的上下金属电极，其特征在于：所述的谐振底板底侧为平面，谐振底板上侧为反台式圆形凹槽结构，包括圆形凹槽以及圆环状平台，圆形凹槽位于谐振底板上侧的几何中心位置，圆环状平台位于圆形凹槽外围，其高度与圆环凹槽外边沿高度相等；上金属电极包括覆盖在圆环状平台表面的圆环状电极以及圆形凹槽表面覆盖的圆形电极，圆环状电极以及圆形电极通过金属导体连通；下金属电极为一圆形电极，覆盖在谐振底板几何中心位置。
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