[发明专利]一种高品质因数高质量灵敏度的QCM传感器

权利要求书

1.一种高品质因数高质量灵敏度的QCM传感器，包括：谐振底板以及位于谐振底板表面的上下金属电极，其特征在于：

所述的谐振底板底侧为平面，谐振底板上侧为反台式圆形凹槽结构，包括圆形凹槽以及圆环状平台，圆形凹槽位于谐振底板上侧的几何中心位置，圆环状平台位于圆形凹槽外围，其高度与圆环凹槽外边沿高度相等；

上金属电极包括覆盖在圆环状平台表面的圆环状电极以及圆形凹槽表面覆盖的圆形电极，圆环状电极以及圆形电极通过金属导体连通；下金属电极为一圆形电极，覆盖在谐振底板几何中心位置。

2.根据权利要求1所述的QCM传感器，其特征在于，所述的圆形凹槽从外边沿到内侧底面高度逐步减少，最后形成平底圆形凹槽，其平底圆形区域为谐振区域。

3.根据权利要求1所述的QCM传感器，其特征在于，所述的上金属电极包括圆环状电极和圆形凹槽表明覆盖的圆形电极，电极材料为金、银或者铬+金(为了增加金在谐振底板的吸附力，首先以金属铬为基层，在铬层的上面再镀一层金)。