[发明专利]成膜方法和成膜装置

摘要

本发明提供成膜方法和成膜装置。该成膜方法包括以下工序：第1原料气体供给工序，向基板上供给含有第1金属元素的第1原料气体；第2原料气体供给工序，向所述基板上供给含有第2金属元素的第2原料气体；以及反应气体供给工序，将含有非金属元素的反应气体等离子体化并供给到所述基板上，生成含有所述第1金属元素以及第2金属元素和所述非金属元素的第3反应生成物，该非金属元素能与所述第1金属元素以及所述第2金属元素进行反应而分别生成第1反应生成物以及第2反应生成物，所述第3反应生成物所含有的所述第1金属元素的混合比率高于所述第2金属元素的混合比率，所述第2反应生成物的结晶温度高于所述第1反应生成物的结晶温度。

主权项

1.一种成膜方法，其中，该成膜方法包括以下工序：第1原料气体供给工序，在该第1原料气体供给工序中，向基板上供给含有第1金属元素的第1原料气体；第2原料气体供给工序，在该第2原料气体供给工序中，向所述基板上供给含有第2金属元素的第2原料气体；以及反应气体供给工序，在该反应气体供给工序中，将含有非金属元素的反应气体等离子体化并供给到所述基板上，生成含有所述第1金属元素以及所述第2金属元素和所述非金属元素的第3反应生成物，该非金属元素能与所述第1金属元素以及所述第2金属元素进行反应而分别生成第1反应生成物以及第2反应生成物，所述第3反应生成物所含有的所述第1金属元素的混合比率高于所述第2金属元素的混合比率，所述第2反应生成物的结晶温度高于所述第1反应生成物的结晶温度，所述第1反应生成物与所述第2反应生成物相比加工容易，其中，所述基板载置在旋转台上，在第1处理区域中同时进行所述第1原料气体供给工序和所述第2原料气体供给工序，通过使所述旋转台旋转，在所述基板能够移动的第2处理区域中进行所述反应气体供给工序。