[发明专利]研磨液供应装置和包括研磨液供应装置的抛光设备

摘要

公开了一种研磨液供应装置，包括喷嘴，构造成喷射研磨液；研磨液供应单元，构造成接收来自所述喷嘴的研磨液并经由至少一个研磨液孔排出研磨液；接收单元，构造成允许研磨液供应单元安装、插入、坐置、联接、支承或放置在其中，以使得能够排出来自研磨液供应单元的研磨液，该接收单元构造成环绕研磨液供应单元接收流动材料；以及研磨液保护单元，构造成与流动材料一起封围用于研磨液从喷嘴的出口到研磨液供应单元的入口穿过的空间。

主权项

一种研磨液供应装置，包括：喷嘴，构造成喷射研磨液；研磨液供应单元，构造成接收来自所述喷嘴的研磨液并经由至少一个研磨液孔排出研磨液；接收单元，构造成允许所述研磨液供应单元安装在其中，以使得能够排出来自所述研磨液供应单元的研磨液，所述接收单元构造成环绕所述研磨液供应单元接收流动材料；以及研磨液保护单元，构造成与所述流动材料一起封围用于研磨液从所述喷嘴的出口到所述研磨液供应单元的入口穿过的空间，所述研磨液保护单元包括：喷嘴接收凹部，布置成面向所述研磨液供应单元的入口，所述喷嘴接收凹部构造成允许所述喷嘴安装在其中；以及主盖，构造成与所述流动材料一起气密密封用于研磨液穿过的所述空间，其中，所述主盖包括：上端部；和从所述上端部延伸的第一侧壁部，所述上端部沿第一方向延伸，所述第一侧壁部沿第二方向延伸，并且所述第二方向是研磨液的排出方向并且垂直于所述第一方向，其中，所述主盖具有与所述流动材料间隔开的端部，其中，所述主盖还包括辅助盖，所述辅助盖沿所述第一方向从所述第一侧壁部突伸以覆盖所述流动材料的顶部。