[发明专利]软脉冲调制有效
| 申请号： | 201510199094.4 | 申请日： | 2015-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN105047513B | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | 约翰·C·小瓦尔考 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/46 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所31263 | 代理人： | 樊英如,李献忠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及软脉冲调制，具体描述了用于软脉冲调制的系统和方法。所述系统之一包括主射频(RF)发生器，用于在第一状态期间产生主RF信号的第一部分和在第二状态期间产生主RF信号的第二部分。主RF信号是正弦信号。该系统还包括阻抗匹配电路，其经由RF电缆耦合到主RF发生器以修改主RF信号，从而产生经修改的RF信号；和经由RF传输线耦合到阻抗匹配电路的等离子体室。等离子体室用于基于经修改的RF信号产生等离子体。第一部分的统计测量结果具有正斜率或负斜率。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲调制 | ||
【主权项】：
一种等离子体系统，其包括：主射频(RF)发生器，其用于在第一状态期间产生主RF信号的第一部分以及在第二状态期间产生所述主RF信号的第二部分，其中，所述主RF信号是正弦信号；阻抗匹配电路，其通过RF电缆耦合到所述主RF发生器以修改所述主RF信号，从而产生经修改的RF信号；和经由RF传输线耦合到所述阻抗匹配电路的等离子体室，所述等离子体室用于基于所述经修改的RF信号产生等离子体，其中，所述第一部分的包络线具有正斜率或负斜率。
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