[发明专利]软脉冲调制

权利要求书

1.一种等离子体系统，其包括：

主射频(RF)发生器，其用于在第一状态期间产生主RF信号的第一部分以及在第二状态期间产生所述主RF信号的第二部分，其中，所述主RF信号是正弦信号；

阻抗匹配电路，其通过RF电缆耦合到所述主RF发生器以修改所述主RF信号，从而产生经修改的RF信号；和

经由RF传输线耦合到所述阻抗匹配电路的等离子体室，所述等离子体室用于基于所述经修改的RF信号产生等离子体，

其中，所述第一部分的包络线具有正斜率或负斜率。

2.根据权利要求1所述的等离子体系统，其还包括用于在所述第一状态期间从所述主RF发生器接收数字脉冲信号的第一部分以及在所述第二状态期间从所述主RF发生器接收所述数字脉冲信号的第二部分的从射频发生器，所述从射频发生器用于在所述第一状态期间产生从RF信号的第一部分以及在所述第二状态期间产生所述从RF信号的第二部分，

其中，所述从RF信号是正弦信号，

其中，所述从RF信号的所述第一部分的统计测量结果具有正斜率或负斜率。

3.根据权利要求2所述的等离子体系统，其中，在所述主RF信号的所述第一部分的所述包络线具有所述正斜率的至少部分时间期间，所述从RF信号的所述第一部分的所述统计测量结果具有所述正斜率。

4.根据权利要求2所述的等离子体系统，其中，在所述主RF信号的所述第一部分的所述包络线具有所述负斜率的至少部分时间期间，所述从RF信号的所述第一部分的所述统计测量结果具有所述负斜率。

5.根据权利要求1所述的等离子体系统，其中所述主RF信号具有频率和功率。

6.根据权利要求1所述的等离子体系统，其进一步包括：

耦合到所述主RF发生器的间隙控制系统，其用于在所述第一状态期间产生间隙信号的第一部分以及在所述第二状态期间产生所述间隙信号的第二部分，

其中所述等离子体室包括卡盘和面向所述卡盘的上电极，

所述间隙控制系统还通过马达耦合到所述等离子体室的所述上电极以用于改变所述上电极和所述卡盘之间的间隙，

其中，所述间隙信号具有正斜率或负斜率。

7.根据权利要求6所述的等离子体系统，其中所述间隙控制系统包括间隙传感器，所述间隙传感器用于确定所述上电极和所述卡盘之间的间隙的大小。

8.根据权利要求7所述的等离子体系统，其进一步包括：

用于产生脉冲信号的主机控制器；和

耦合到所述主机控制器的相位延迟电路，其用于基于所述间隙的大小延迟所述脉冲信号的相位，所述主机控制器经由所述相位延迟电路耦合到所述主RF发生器。

9.根据权利要求1所述的等离子体系统，其还包括：

耦合到所述主RF发生器的压力控制系统，其用于在所述第一状态期间产生压力信号的第一部分以及在所述第二状态期间产生所述压力信号的第二部分，

其中所述等离子体室包括多个约束环，

所述压力控制系统经由马达进一步耦合到所述约束环以改变所述等离子体室中的压力，

其中所述压力信号的所述第一部分具有正斜率或负斜率。

10.根据权利要求9所述的等离子体系统，其中所述压力控制系统包括压力传感器，所述压力传感器用于确定在所述等离子体室中的所述压力的大小。

11.根据权利要求10所述的等离子体系统，其还包括：

用于产生脉冲信号的主机控制器；和

耦合到所述主机控制器的相位延迟电路，其用于基于所述压力的大小延迟所述脉冲信号的相位，所述主机控制器经由所述相位延迟电路耦合到所述主RF发生器。

12.根据权利要求1所述的等离子体系统，其还包括：

耦合到所述主RF发生器的流量控制系统，其用于在所述第一状态期间产生流量信号的第一部分以及在所述第二状态期间产生所述流量信号的第二部分，

所述流量控制系统通过马达进一步耦合到阀，以控制气体流向所述等离子体室的流率，

其中，所述流量信号的所述第一部分具有正斜率或负斜率。

13.根据权利要求12所述的等离子体系统，其中，所述流量控制系统包括流量传感器，所述流量传感器用于确定所述等离子体室内的一种或多种气体的流量的大小。